晶圓專用接觸角測(cè)量?jī)x接觸角原理：
所謂接觸角，指在一固體水平平面上滴一液滴，固體表面上的固—液—?dú)馊嘟唤琰c(diǎn)處，其氣—液界面和固—液界面兩切線把液相夾在其中所成的角。
晶圓專用接觸角測(cè)量?jī)x規(guī)格參數(shù)：
1. 測(cè)量范圍：0～180°
2. 分辨率：0.01°
3. 測(cè)值精度：±0.1°(θ/2 法)
4. 儀器尺寸：約W600×D1200×H800mm
5. 儀器重量：約18kg
6. 使用電源：1∮ AC220V 50HZ
晶圓專用接觸角測(cè)量?jī)x硬件指標(biāo)：
1. 樣品臺(tái)及其控制：
1.1. 樣品臺(tái)移動(dòng)：
X×Y行程：100×100mm手動(dòng)，精度：0.1mm
Z行程：25mm手動(dòng)，精度：0.01mm
1.2. 樣品臺(tái)大小：?400mm(可選配真空吸盤)
1.3. 樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)：水平旋轉(zhuǎn)
1.4. 水平控制：樣品臺(tái)水平控制、鏡頭水平控制和整機(jī)四腳水平
2. 進(jìn)液系統(tǒng)及其控制：
2.1. 進(jìn)液系統(tǒng)：手控式注射泵系統(tǒng)
2.2. 進(jìn)液器：高精度可更換針頭氣密玻璃針管50ul、100ul
2.3. 針頭：0.7mm標(biāo)準(zhǔn)針頭、聚四氟乙烯針頭
2.4. 進(jìn)樣器控制：
X×Y行程：12.5×12.5mm手動(dòng)，精度：0.01mm
Z行程：25mm手動(dòng)，精度：0.01mm，實(shí)現(xiàn)移液及焦距對(duì)焦功能
2.5. 進(jìn)樣模式：程序設(shè)置進(jìn)樣區(qū)域，多點(diǎn)自動(dòng)按序拍攝，統(tǒng)一分析，自動(dòng)計(jì)算，一鍵得出結(jié)果
3. 成像系統(tǒng)及其控制：
3.1. 鏡頭控制：一維俯仰控制
3.2. 鏡頭：0.7～4.5×光學(xué)連續(xù)變倍，250mm工作距離，55～320pixel/mm有效像素
3.3. 相機(jī)系統(tǒng)：工業(yè)級(jí)超低照度攝像頭，水平750線，0.0005Lux照度
3.4. 相機(jī)通訊：進(jìn)口芯片系列CMOS傳感器，25幀/秒的速度，1280H×1024V分辨率
3.5. 背景光：可調(diào)亮度LED冷光源，36個(gè)光源點(diǎn)，進(jìn)口亞克力遮光片技術(shù)
晶圓專用接觸角測(cè)量?jī)x軟件特點(diǎn)：
1. 接觸角分析方法：量高法、量角法、擬合法、插板法、懸滴法、自動(dòng)法等共6種分析方法；
2. 接觸角數(shù)據(jù)求取方式：全自動(dòng)測(cè)值和人工修整相結(jié)合，按測(cè)試→自動(dòng)拍照→查找敏感點(diǎn)→計(jì)算接觸角值→顯示計(jì)算結(jié)果，整個(gè)過程無須人工干預(yù)，以降低人為因素影響；
3. 接觸角量測(cè)技術(shù)：數(shù)學(xué)模型擬合與真實(shí)液滴輪廓實(shí)際量測(cè)相結(jié)合，解決非對(duì)稱圖像測(cè)值問題
4. 測(cè)試液滴狀態(tài)：懸滴法、停滴法(2/3態(tài))、氣泡虜獲法、插板法等共4種；
5. 曲面修正：上凸曲面、下凹曲面、表面粗糙度修正；
6. 動(dòng)/靜態(tài)接觸角測(cè)試，可測(cè)試前進(jìn)角/后退角/傾斜角和滾動(dòng)角等；
7. 拍攝圖像方法：?jiǎn)螐埢?span>25
幀/秒連續(xù)拍攝；8. 左右接觸角可分別計(jì)算與比較，軟件自動(dòng)求取平均接觸角值；
9. 強(qiáng)大的數(shù)據(jù)庫管理功能：備份、壓縮、導(dǎo)出Excel表格，測(cè)值及曲線擬合結(jié)果均可保存至導(dǎo)出的圖片上，直觀明了；
10. 視頻拍攝功能：拍攝AVI格式的影視圖像，可用于PPT文件制作等；
11. 多種表面自由能估算模型，不但能分析低能固體表面，也能分析高能固體表面。
晶圓專用接觸角測(cè)量?jī)x售后服務(wù)：
1. 免費(fèi)保修2年，終身維修。2年后如需更換零配件只核收成本費(fèi)，無其它費(fèi)用產(chǎn)生；
2. 開通電話服務(wù)專線：，24小時(shí)內(nèi)回復(fù)用戶，72小時(shí)內(nèi)上門調(diào)試維修；
3. 定期上門巡回服務(wù)，檢查設(shè)備運(yùn)行狀況，對(duì)設(shè)備進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)；
4. 長(zhǎng)期為用戶免費(fèi)提供產(chǎn)品使用說明書、維護(hù)咨詢、技術(shù)咨詢等服務(wù)；
5. 針對(duì)使用電腦軟件控制的儀器，可定期免費(fèi)提供軟件升級(jí)和技術(shù)支持。
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