SKY® CDG025D 0.1 1000 托 / 毫巴
INFICON SKY CDG025D 電容隔片真空計系列的溫度補償型壓力計可以在惡劣的生產加工環境中提供穩定性能。 數字電子元件用于改進真空計的性能，具有一鍵調零功能和設調整等易于操作的特性。 防腐蝕超純陶瓷傳感器提供的零點穩定性，預期使用壽命長達數百萬次壓力循環（包括氣壓突變）。 的傳感器屏蔽（正在申請）用于保護真空計，使其免受加工污染。 堅固的機械設計和數字電子元件可以改進電磁兼容性 (EMC)、長期穩定性和溫度補償。 CDG025D 電容隔片真空計為開機后快速穩定以及從大氣氣壓中快速恢復的功能樹立了新的標準。
益處
- 全刻度范圍從 100 毫托 … 1000 托
- 電源接通后快速穩定
- 暴露于大氣壓后快速恢復
- 防腐陶瓷傳感器
- 的長期信號穩定性
- 溫度補償
- 傳感器防污染保護
- 一鍵調零功能
- 電源
典型應用
- 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導體生產設備
- 數據存儲和顯示制造設備
- 工業真空設備
- 常規壓力測量
