形式:φ650-3500mm,箱式一體機,立式前開門,蒸發(fā)室和抽氣室為整體焊接式,一體機系統(tǒng)。
真空系統(tǒng):極限真空8X10-5Pa,主泵為復(fù)合分子泵/低溫泵/擴散泵可選。
真空測量:配三路數(shù)字復(fù)合真空計,均采用安全防爆金屬測量規(guī)。
工件架系統(tǒng)。客戶需求定制,轉(zhuǎn)速3~30rpm變頻可調(diào),工件盤為球形和行星工件盤可選。
烘烤系統(tǒng)。不銹鋼鎧裝加熱器匹配數(shù)字功率控制器和PID控制模塊,烘烤溫度300℃,溫控精度1℃,過沖不超過2℃。
電子束蒸發(fā)源。E型電子束蒸發(fā)源系統(tǒng)(E型)1-2套,主體有屏蔽罩,配置獨立高壓控制柜。
旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)源:電動轉(zhuǎn)位和點動轉(zhuǎn)位,配置無氧銅坩堝和石墨坩堝各一套。
電阻蒸發(fā)源:2套電阻蒸發(fā)源。(選配)
膜厚測試系統(tǒng)。配瑞士inficon石英膜厚在線測量系統(tǒng), RS-232 和 USB兼容,匹配水冷膜厚探頭。
離子源輔助沉積系統(tǒng):一套(選配離子源或高壓離子轟擊系統(tǒng))
控制系統(tǒng):成熟可靠的真空鍍膜控制系統(tǒng),工業(yè)級10英寸觸摸屏(工控機)和西門子PLC,能夠?qū)崿F(xiàn)抽真空、工轉(zhuǎn)烘烤、自動充氣、自動鍍膜、自動冷卻放氣等鍍膜生產(chǎn)流程;支持半自動和手動等鍍膜操作方式。水、電、氣路有故障自動報警和保護系統(tǒng),采用聲光報警。
說明:根據(jù)用戶要求,公司愿與客戶聯(lián)合研發(fā),共享知識產(chǎn)權(quán),公司致力于工藝與設(shè)備匹配。