一、 紅外光譜儀真空系統簡介:
1. 外圍真空系統由干泵與分子泵串抽達到高真空要求,可實現對原位反應池的凈化處理和實現真空吸附和脫附過程。
2. 技術指標:系統的極限真空優于1×10-3Pa,所有閥門的平均運行次數大于10萬次。
3. 主要閥門為不銹鋼角閥。主分子泵具有抽速快,體積小,低噪音,操作簡單,使用方便的特點,前級為無油系統,對樣品可達到基本無污染,且開機啟動時間只需幾分鐘。主泵口的冷卻室可冷卻樣品中對分子泵的污染有害成份,易于清理。
4. 通樣品室的接口及工位閥可依客戶的要求做相應改變。
5. 本設備提供12個月質量保證期,負責保修,并且提供咨詢及完備的售后服務。
二、 主要構成部件:
渦輪分子泵 干泵
全量程真空規 角閥
安全隔離閥 冷阱 真空配件等