- 1179A/2179A 質量流量控制器/帶截至閥質量流量控制器,其滿量程范圍從10sccm-20slm。
- M100B/M10MB 質量流量控制器/質量流量監視器,其滿量程范圍i從10sccm-50slm,模擬通訊接口。
- 1559A/558A 大流量質量流量控制器/質量流量監視器,其滿量程滿為從20-200slm,模擬通訊接口。
- 1579A/579A 大流量質量流量控制器/質量流量監視器,其滿量程滿為從50-300slm,模擬或Profibus通訊接口。
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