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不管是微電機,微型開關或其他精細組件,用F25可以高測量微系統技術的每個工件。 |
坐標測量機F25符合蔡司的質量保證特別要求,在此特別尺度下,微系統技術生產的工件尺寸、形狀和位置。微系統技術組件將被用于汽車零部件和醫療儀器上,并在高控制和調節過程中起到決定性作用。此精細工件質量監控的決定了零部件使用時的可靠性。
重要特征
- 超精密運動學與高測量系統的組合分辨率為7.5nm,測量達到250nm
- 久經考驗的Calypso測量軟件
- 靈活地多功能傳感器:同一系統采用觸發式和光學測量
- 接觸式被動掃描——傳感器基于硅芯片,并帶有集成的壓阻組件
- 光學影像傳感器ViSCAN使用蔡司顯微技術鏡頭,可用于二維測量
- 附加的相機支持探測時的可視化操作,并且便于示教編程
- 靈敏的三維微探針測桿直徑50至500μm及測針頭直徑100至