旋轉涂層機/勻膠機/旋轉涂儀 型號:ZRX-26230

旋轉涂層機勻膠機
主要用于液體，膠體在材料表面形成薄膜。
適用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷，不銹鋼，金屬等制版表面涂覆工藝。

ZRX-26230勻膠機 工作主機獨立，控制器分置。
ZRX-26230勻膠機： 工作腔內徑D290mm 適合直徑D10mm-280mm園片及 200mmX200mm方形片。


*旋轉涂層機勻膠機程序控制器：
可設定存儲26個不同樣片的旋轉涂敷工藝過程；
每個涂敷工藝過程可以設置51步不同的速度狀態；
加速度（及負加速度），可設置。
中英文兩套操作系統供選擇。
操作系統內駐留涂敷工藝過程模板程序，方便快速調試并存儲程序。
設置程序：標準通用符號，6鍵操作，人機交互式對話，提示操作。
無需培訓，上手就會操作。
*可連接滴膠機，自動控制在必要的瞬間滴膠，自動控制重復定量滴膠。
自動控制操作。
*工作腔可氮氣保護。
設過有效的惰性氣體保護機構，對所有的環境變量（溫度，濕度，潔凈度）有效控制，

*真空吸片，爪卡機構。2種工作狀態隨意選擇。 爪卡機構工作狀態無需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂膠。
*中心結構定位：圓形基片使用工具完成中心定位。方便快捷，定位精度高。
主機標準配備一片真空吸盤即可滿足（TA-280適用3英寸-11英寸基片）；（TA-360適用3英寸-14英寸基片）。
小于3英寸可使用定制真空吸盤。
*卡盤，吸盤品種豐富，適應各種需要。
*真空吸片系統更安全：
安裝有真空度傳感器，涂敷工作過程電腦實時檢測系統真空度，必須在安全的真空度下，
電機啟動，運行。保障可靠吸片，不飛片。運行中失去真空，系統保護性停機。
*伺服電機，轉速精度更高：300 - 10000 轉/分，轉速穩定性：+ - 0.1 % 轉速10000轉/分
*所用的天然聚丙烯（NPP）材質，清潔。



單相交流電源：220V.50Hz
電機功率：200W
轉數：300 - 10000 轉/分。
可設定時間：1---9999秒。尺寸： 490mm寬 x 400mm深 x 300 mm高 ,