高校實驗室一英寸真空高低溫光電測試探針臺
技術參數； 真空腔體 型號 KT-0904T-RL 高低溫型 KT-0904T-R 高溫型 類型 加熱型 400℃ 加熱制冷型室溫到-190℃~400℃ 腔體材質 304 不銹鋼 腔體內尺寸 φ90x40mm 腔體上視窗尺寸 Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm） 腔體抽氣口 KF16 腔體進氣口 公制 3mm 6mm 氣管接頭 英制 1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 腔體出氣口 公制 3mm 6mm 氣管接頭 英制 1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 腔體正壓 ≤0.05MPa 腔體真空度 機械泵≤5Pa （5 分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30 分鐘） 樣品臺 樣品臺材質 304 不銹鋼 樣品臺尺寸 26X26mm 樣品臺-視窗 距離 30mm（可選凹視窗間距 15mm） 樣品臺測溫傳感器 A 級 PT100 鉑電阻 樣品臺溫度 室溫到 400℃（可選高低溫樣品臺 高溫 400℃低溫-190℃） 樣品臺測溫誤差 ±0.2℃ 樣品臺變溫速率 高溫 10℃/min 低溫 5℃/min 值
高校實驗室一英寸真空高低溫光電測試探針臺
高校實驗室一英寸真空高低溫光電測試探針臺
探針臺主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測
量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。
該探針臺的承載臺為 26X26mm 不銹鋼臺面，臺面可升溫到 400℃。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針
臂為 X/Y/Z 三軸移動，三個方向均可在真空環境下精密移位調節，其中 X
高校實驗室一英寸真空高低溫光電測試探針臺
電信號接頭 配線轉接 BNC 接頭 BNC 三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長 1.2 米 電學性能 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA 探針數量 4 探針（可定做 6 探針） 探針材質 鍍金鎢針 探針尖 10μm 探針移動平臺 X 軸移動行程 12mm ±6mm X 軸控制精度 ≤5μm Y 軸移動行程 12mm ±6mm Y 軸控制精度 ≤5μm Z 軸移動行程 12mm ±6mm Z 軸控制精度 ≤5μm 數碼顯微鏡 顯微鏡類別 物鏡放大+電子放大 顯微鏡放大倍數 100 倍 顯微鏡工作間距 50-150mm 相機分辨率 1080P 60 幀 相機信號輸出 HDMI 輸出+USB 輸出 LED 可調光源 LED 光源 顯示屏 5 寸 屏幕一體機
