1.水處理系統介紹
整個水處理系統分為預處理系統+反滲透為主的脫鹽系統+精處理系統+（加溫后）+后續的精處理工藝，最后得到電子超純水。整個水處理系統有加熱功能，根據不同的用水溫度需要調整進水溫度。預處理系統由絮凝劑和殺菌劑+全自動多介質過濾器+全自動活性炭過濾器+預處理產水箱+預處理輸送泵組成。主要通過添加藥劑和機械過濾器來去除掉水中泥沙、懸浮物、膠體、微生物等物質，保證產水的SDI15＜5，滿足反滲透的進水條件。反滲透為主的脫鹽體系主要由一級反滲透系統和二級反滲透系統組成，特別是一級反滲透系統，為最主要的脫鹽系統。由熱交換器+保安過濾器+一級高壓泵+一級反滲透系統+緩沖水罐+二級高壓泵+二級反滲透系統+產水水箱組成。由于反滲透系統允許進水含鹽量相對較廣，且脫鹽率高，故能起到主要脫鹽的功能，減輕后續工藝處理的脫鹽負荷。精處理系統主要由進水泵+一級TOC UV+膜脫氣系統+連續電除鹽系統（CEDI）組成，主要是進一步去除水中的含鹽量，為后續的精處理系統提供穩定的水質保障。后續精處理根據分布不同分兩股水，由水罐+泵+二級 TOC UV+超純水拋光混床+換熱器+0.1 μm過濾器組成，之后不同溫度的產水作為超純水使用。
2.電子超純水和系統進水的情況
電子超純水是指將水中的導電介質幾乎去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水，水中除了水分子（H2O）外，幾乎沒有什么雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二 英等有機物，這種水的制作工藝可以通過蒸餾、去離子化、反滲透技術或其他適當的超臨界精細技術生產出來的水，如今以反滲透技術為主的制造工藝相對比較普遍，此項目也以反滲透技術為主要脫鹽工藝來制備電子超純水。該水處理項目的原水取自市政自來水，電導率在200～800 μS/cm之間波動，進水余氯質量濃度在0.2～1 mg/L之間波動。
