儀器名稱:場發射掃描電子顯微鏡
品牌: 日本電子
型號:JSM-7610F
產地:日本
儀器介紹:
1.超高分辨圖像的觀察,放大倍數1百萬倍
開發的強勵磁物鏡極靴設計,JSM-7610F的象差小,圖像分辨率高,特別是在低加速電壓下仍保持很高的分辨率,適合于材料表面的高分辨圖像觀察,分辨率指標如下:
1.0nm (二次電子,加速電壓:15kV)
1.3nm (二次電子,加速電壓:1kV)突出的低壓分辨率
2. 分子泵系統:真空系統潔凈,抽氣速度快,維護簡單。
3.五軸馬達樣品臺標準控制:使用極為方便。
4.大樣品室:利用JSM-7610F的標準配置,即可進行直徑為150mm樣品的觀察;絕大部分操作通過鼠標即可實現。
5.能量過濾器:可以按任意比例混合二次電子和背散射電子圖像。
6. 圓錐型熱場發射電子槍:電子束虛漂移小,改變加述電壓無需手動調節虛漂移點。7.光闌角控制透鏡: 無須手動切換光闌,束流大小由計算機自動控制。
8. 離子泵的電源支持:停電后最長可以堅持14天,電池更換每年只需200元以內。
9.良好的可操作性:控制界面設計非常友好,使用極為便利。
10.多通道顯示:最多可以選擇四種圖像同時顯示,高位二次電子像,低位二次電子像,背散射組成像和背散射拓撲像。
11. 穩定的GB模式:標準配置。可以有效抑制充電和提高點電壓下的分辨率。
12. 微區的成份分析幾何尺寸好:配合能譜儀(EDS)分析時,工作距離只有8mm, 取出角35度,計數率是其他廠家的一倍。
13.超長的發射體壽命: 由于采用In-Lens技術,我們的束流強度可以達到200nA,其他廠家只能做到20nA.我們在做成分分析時,或搭載EBSD或WDS時,分析速度和結果的精確度遠遠高于他們。采用了In-Lens電子槍技術和的氣鎖換樣系統,我們的發射體質保3年,用戶一般使用在6年以上。