SPIN-1200T勻膠機

勻膠機有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機，總的來說，他們原理都是一樣的，既在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。
勻膠機適用于半導體、硅片、晶片、基片、導電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。勻膠機可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,并且在清洗和刻蝕中也被廣泛使用。
由我司提供的勻膠機,在高校、研究所及半導體產業享有很高的聲譽,相信能滿足您多種不同應用要求。





產地：韓國MIDAS公司，
型號：SPIN-1200T


SPIN-1200T
觸摸面板控制，各種涂層溶液的緊湊單元，可編程配方管理，操作簡單
•勻膠機
•基板尺寸：小于等于4英寸
•轉速：300~7000 rpm（空載時），誤差小于3%（海外10000 rpm）
•菜單程序：50步，50個配方
•卡盤材料：改性鋁、縮醛
•碗尺寸：8英寸
•碗材料：聚丙烯
•尺寸（mm）230（寬）*340（深）*260（高）

應用范圍：
可用于光刻膠(PR)，聚酰亞胺(Polyimide)，金屬有機物(Metallo-organics)，攙雜劑(Dopant)，硅薄膜(Silica Film)，以及大多數的有機溶液、水溶液；

全自動的勻膠及顯影工藝必需的全自動Chip生產設備：