裝置概述:
裝置依據國家計量技術規范的具體規范要求設計制造,可檢定校準各種規格的真空計產品。系統采用品牌真空計標準器和真空獲得設備,校驗室配備超高真空和高精度自動壓控系統,設計了專業的多通道測控軟件,可適用不同的被檢定對象。結構緊湊、功能齊全、校準效率高。標準計經國家檢定并出具檢定/校準報告,符合國家真空量值溯源相關規定。
主要特點:
- 真空能力強,配備德國普發專業高轉速分子泵系統,更便于余氣排空;
- 壓力控制范圍大,從低真空規-超高真空規管任意切換檢測壓力和氣體,極限真空可達1×10-7Pa;
- 采用德國 INFICON CDG CUBE專用標準計量級電容膜片規作為標準計;
- 可同時檢測 多個不同類型的真空規管,每個檢測頭單獨配有超高真空角閥,互不影響;
- 整機尺寸小,真空腔體可快速到達可檢狀態,檢測效率高;
- 專用測控軟件,Windows系統開發應用,方便在線輸出作業,現場曲線可遠程監控;
- 多段式結構,設備配置根據要求可升級度高;
系統原理:
設備系統圖:
參照技術標準:
- JJF1050-1996《熱傳導真空計校準規范》
- JJF 1503-2015《電容薄膜真空計校準規范》
- JJG()63-2015《真空計(比對法)檢定規程》
- JJF062-1999《電離真空計校準規范》
技術參數:
- 檢驗室極限真空值:≤1×10-6Pa;
- 檢驗室不烘烤極限真空值:≤1×10-5Pa;
- 檢驗室烘烤溫度:室溫~200℃±5°;
- 設備漏率:<1×10-10Pam3/s;
- 校驗室壓力調節范圍:1×10-5Pa~1×105Pa;
- 擴展不確定度Urel≤5%,(k=2),系統的綜合校正誤差度≤3%;
- 校驗室壓力調節精度:±0.01Pa;
設備配置:
- 德國普發分子泵+雙級旋片真空泵(選配干式真空泵);
- 圓柱形真空腔室(選配圓形腔室)
- 赤道8工位CF-F型真空接口;
- INFICON CDG CUBE標準計量級薄膜真空計;
- 高精度壓控系統+質量流量計控制進氣壓力;
- 專業開發Windows應用測控軟件,12通道測控數據及時互聯互通。
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技術服務及質量保證
- 本系統采用高標準計量行業模塊構建,質量穩定可靠、通用配件易于更換、作業效率更高、質量滿足或高于計量行業規范設備要求。
- 項目按ISO9001質量管理體系組織設計、加工、裝調、檢驗、包裝、運輸。
- 提供該設備的技術使用說明書、產品合格證、外購配件儀器儀表說明書,設備常用易損件清單等規范文件。
- 在甲方現場驗收后,一年內免費維修正常使用出現的故障,非正常的故障維修只核收工本費及差旅費,終身維修只核收工本費及差旅費。
鑫鐳真空技術(東莞)有限公司專業為計量單位、企業和科研項目制作用于各種規格的真空計檢定、校準系統,提供各類真空計測試和維修,我們擁有專業的技術團隊和設備,質量可靠,服務周到,可提供多個案列參考。