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光學輪廓儀/3D顯微鏡 Zeta-300 支持3D量測和成像的功能

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱上海納嘉儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號Zeta-300
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/7/6 15:28:54
  • 訪問次數344
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上海納嘉儀器有限公司專業致力于銷售各種科研測試類儀器與技術服務,主要代理公司的微納米級表面測量產品,著力為各高校,研究所以及高科技公司等單位提供集產品、應用和服務于一體的整體解決方案! 上海納嘉儀器有限公司主要代理多款微納米級別表面測量儀器:原子力顯微鏡&掃描探針顯微鏡,探針式輪廓儀(臺階儀,三維光學輪廓儀,色散共焦輪廓儀,光譜式橢偏儀,反射干涉儀以及各種儀器耗材等。 我們秉承“為合作伙伴創造價值”的核心價值觀,并以“誠實、寬容、創新、服務”為企業精神,通過自主創新和真誠合作為行業創造價值。 關于“為合作伙伴創造價值” 我們認為客戶、供應商、公司股東、公司員工等一切和自身有合作關系的單位和個人都是自己的合作伙伴,并只有通過努力為合作伙伴創造價值,才能體現自身的價值并獲得發展和成功。 關于“誠實、寬容、創新、服務” 我們認為誠信是一切合作的基礎,寬容是解決問題的前提,創新是發展事業的利器,服務是創造價值的根本。
光學輪廓儀/白光干涉儀/Zeta-300OpticalProfilerZeta-300支持3D量測和成像的功能,并提供整合隔離工作臺和靈活的配置,可用于處理更大的樣品
光學輪廓儀/3D顯微鏡 Zeta-300 支持3D量測和成像的功能 產品信息

光學輪廓儀/白光干涉儀/Zeta-300 Optical Profiler



Zeta-300支持3D量測和成像的功能,并提供整合隔離工作臺和靈活的配置,可用于處理更大的樣品。該系統采用ZDot™技術,可同時采集高分辨率3D數據和True Color(真彩)無限遠焦點圖像。Zeta-300具備Multi-Mode(多模式)光學系統、簡單易用的軟件、以及低擁有成本,適用于研發及生產環境。

產品描述


Zeta-300光學輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測量系統。 Zeta-300繼承了Zeta-20的功能,并增加了隔離選項以及處理更大樣品的靈活性。 該系統采用ZDot™技術和Multi-Mode (多模式)光學系統,可以對各種不同的樣品進行測量:透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理,以及納米至毫米級別的臺階高度。

Zeta-300的配置靈活并易于使用,并集合了六種不同的光學量測技術。ZDot™測量模式可同時收集高分辨率3D掃描和True Color無限遠焦距圖像。其他3D測量技術包括白光干涉測量、Nomarski干涉對比顯微鏡和剪切干涉測量。ZDot或集成寬帶反射計都可以對薄膜厚度進行測量。Zeta-300也是一種顯微鏡,可用于樣品復檢或自動缺陷檢測。 Zeta-300通過提供全面的臺階高度、粗糙度和薄膜厚度的測量以及缺陷檢測功能,適用于研發及生產環境。


主要功能
· 采用ZDot和Multi-Mode(多模式)光學器件的簡單易用的光學輪廓儀,具有廣泛的應用

· 可用于樣品復檢或缺陷檢測的高質量顯微鏡

· ZDot:同時采集高分辨率3D數據和True Color(真彩)無限遠焦點圖像

· ZXI:白光干涉測量技術,適用于z向分辨率高的廣域測量

· ZIC:干涉對比度,適用于亞納米級別粗糙度的表面并提供其3D定量數據

· ZSI:剪切干涉測量技術提供z向高分辨率圖像

· ZFT:使用集成寬帶反射計測量膜厚度和反射率

· AOI:自動光學檢測,并對樣品上的缺陷進行量化

· 生產能力:通過測序和圖案識別實現全自動測量


主要應用
· 臺階高度:納米到毫米級別的3D臺階高度

· 紋理:平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波紋度

· 外形:3D翹曲和形狀

· 應力:2D薄膜應力

· 薄膜厚度:30nm到100μm透明薄膜厚度

· 缺陷檢測:捕獲大于1μm的缺陷

· 缺陷復檢:采用KLARF文件作為導航以測量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置





工業應用

· LED:發光二極管和PSS(圖案化藍寶石基板)

· 半導體和化合物半導體

· 半導體 WLCSP(晶圓級芯片級封裝)

· 半導體FOWLP(扇出晶圓級封裝)

· PCB和柔性PCB

· MEMS(微機電系統)

· 醫療設備和微流體設備

· 數據存儲

· 大學,研究實驗室和研究所

· 還有更多:請與我們聯系以滿足您的要求


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