
測試速度:<1 sec (快速測試模式)
<120 sec (高分辨率測試模式)
測量光譜分辨率:<0.5nm@633nm (高分辨率測試模式)
<0.8nm@633nm (快速測試模式)
光譜范圍:193nm-2500nm,UV-VIS-NIR不同波長范圍可選
樣品尺寸:標準200mm直徑,可選 300mm
厚度測量范圍:0.01nm-50um
厚度測試精度:0.02nm @120nm SiO2 on Si
折射率測試精度:0.002 @120nm SiO2 on Si
測試速度:<1 sec (快速測試模式)
<120 sec (高分辨率測試模式)
測量光譜分辨率:<0.5nm@633nm (高分辨率測試模式)
<0.8nm@633nm (快速測試模式)
光譜范圍:193nm-2500nm,UV-VIS-NIR不同波長范圍可選
樣品尺寸:標準200mm直徑,可選 300mm
厚度測量范圍:0.01nm-50um
厚度測試精度:0.02nm @120nm SiO2 on Si
折射率測試精度:0.002 @120nm SiO2 on Si
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