產品介紹

NanoCam HD采用相移干涉技術（PSI），精度可達；沿用4D技術公司的相位相關探測器的瞬時相移技術，可在振動環境下測量大口徑光學元件表面粗糙度。

NanoCam HD克服了傳統粗糙度儀速度慢、使用復雜的缺點，其便攜和抗振動的特性使NanoCam 在多種復雜工作場景——生產現場、龍門機器人、拋光設備旁、放置在大口徑光學元件表面，都能進行高精度測量；可掛在機械手上對被測元件進行任意方位的測量。

NanoCam HD能克服一般光學輪廓儀受樣品反射率的制約，可以對高反或低反樣品進行測量。

常規屬性

系統描述：對振動不敏感的動態表面輪廓儀

采集模式：采用相位相關探測器的瞬時相移式

核心技術：相移干涉技術（PSI）

光源：460nm LED

相機像素：, 12-bit

外形尺寸：24 cm × 24 cm × 8 cm

重量： kg

系統性能

最小曝光時間：
垂直測量范圍：115nm step

RMS重復性：
RMS精度：

配置選項

物鏡 ：可選，2X，5X，10X，20X，50X（相見列表）

三腳架：可選操縱桿控制的三腳架，帶傾斜/俯仰/垂直調節

校準鏡：超光滑參考鏡

加長線纜：5m或10m

長工作距離干涉物鏡