低溫等離子廢氣凈化設備機理：
等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1) 電場＋電子→高能電子
(2) 高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基 團
(3) 活性基團＋分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團＋活性基團→生成物+熱
從以上過程可以看出，電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
低溫等離子廢氣凈化設備低溫等離子體凈化設備是在高壓放電的作用下，由被電場加速的帶電粒子轟擊空氣和廢氣成分，產生雪崩效應。整個氣體氛圍中產生大量的正、負離子、自由基團，具備強的氧化性。有機廢氣一部分被高能粒子直接轟擊電離，分解成小分子的產物;一部分被氧化性自由基氧化，生成CO?和H?O，從而實現凈化廢氣的目的。
低溫等離子模塊是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。
適用范圍
主要運用于化工業、造紙也、制藥業、食品業、輪胎及橡膠生產廠、汽車生產、油漆噴涂、污水處理、污泥廢氣處理、垃圾處理廢氣、皮革業、印刷廠、香料生產業、飼料及飼養場、農藥生產以及煙草業等等多個領域的異味和惡臭處理。
