日本愛發科干真空泵GR系列：GR60AGR90AGR180A真空泵維修保養
特別適用于高負荷應用，如在常壓和真空之間的反復泵送和持續運行在高壓范圍內; 適用于需要高吞吐量的裝卸鎖室; 采用通用感應電動機，防爆電動機是一種可行的選擇; 電機功率：訂購時所需的電壓，可提供交流200 V級或多臺電壓電動機。
基于LR/HR系列多年的設計經驗，ULVAC開發了GR系列干式真空泵，為一般工業應用提供簡單、清潔的設計。
【特征】
特別適用于高負荷應用，如在常壓和真空之間的反復泵送和持續運行在高壓范圍內。
適用于需要高吞吐量的裝卸鎖室。
采用通用感應電動機，防爆電動機是一種可行的選擇。
電機功率：訂購時所需的電壓，可提供交流200 V級或多臺電壓電動機。
【應用領域】
空氣、惰性氣體等清潔氣體真空抽吸。
各種沉積設備的裝卸鎖室。
一般工業用途有真空干燥機、真空氣體交換、真空隔熱、充氣、真空除氣等。
【規格】
型號 | GR60A | GR90A | GR180A | ||||
HZ | 50 | 60 | 50 | 60 | 50 | 60 | |
Z大抽運速度 | m3/h | 62 | 80 | 112 | 126 | 183 | 237 |
L/min | 1030 | 1333 | 1860 | 2100 | 3100 | 3950 | |
cfm | 36.4 | 47.1 | 65.7 | 74.2 | 109.5 | 139.5 | |
極限壓力 | 5.0Pa*1 | ||||||
3.7 x 10-2Torr*1 | |||||||
5.0 x 10-2mbar*1 | |||||||
Z大入口壓力 | 大氣壓力 | ||||||
Z大排氣壓力 | 1.0Pa至大氣壓 | ||||||
7.5 x 10-3Pa到大氣壓 | |||||||
1.0 x 10-2毫巴到大氣壓 | |||||||
進氣口 | VG 50或ISO63F | VG 80或ISO80F | |||||
排氣口 | NW 40 | ||||||
表面處理 | 標準選項 | ||||||
重量 | 128kg | 188kg | 268kg | ||||
冷卻水 | 供應壓力 | 0.1 to 0.3MPa | |||||
14.5 to 43.5psi | |||||||
進/出差壓 | >0.1MPa | ||||||
>14.5psi | |||||||
溫度 | 10至30 ℃*2 | ||||||
50至86℃ | |||||||
流量 | >5.0L/m | ||||||
氮氣 | 一次側供給壓力 | 0.1 to 0.5MPa | |||||
14.5 to 72.5psi | |||||||
二次側調節壓力*3 | 0.05至0.1(工作時) | ||||||
7.3 to 14.5psi | |||||||
軸 | 5SLM *4 | ||||||
*1 極限壓力是氮氣(軸封氣體)在5.0SLM時的值
*2非凝結。
*3壓力表上顯示的數值由氣體調節器調整。
*4氮氣流量(軸封氣體)固定在5.0SLM。
訂購時，請從下表中電機電壓。200伏特級電動機或多伏電動機
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