XRF涂鍍層測厚儀是基于X射線熒光光譜分析技術，該技術已被普遍認可并且得到廣泛應用,可以在無需樣品制備的情況下提供易于操作，快速和無損的分析?？煞治龉腆w和液體，元素范圍包括從元素周期表中的14Si到92U。
MAXXI 6針對較薄而復雜的樣品，具有上乘的解決方案。MAXXI 6配備多準直器系統及超大樣品艙，是*佳功能性與*高檢測精度兼備的理想工具。

分析層數&元素數量 

? 自定義（在元素范圍內） 

? 自定義鍍層結構,含合金鍍層 
 
X射線激發 

 ? 50 kV, 1.2 mA (60 W) 高壓發生器 

? Be窗微聚焦W陽極靶射線管(Mo陽極靶射線管可選) 
 
探測器

? 25 mm2 SDD探測器Peltier電制冷 

? 能量分辨率140 eV  (FWHM for MnKα ) 
 
一次綠光片(選配件)  

? 多至5位自動切換一次濾光片 
 
準直器  

? 單準直器: 0.1 x 0.4 mm, 0.1 x 0.7 mm, 0.1 mm, 0. 3 mm,  0.5 mm, 0.7 mm ?  

? 8位程控交換準直器系統   0.05 x 0.05 mm, 0.1 mm x 0.3 mm, 0.05 mm x 0.25 mm, 0.1 mm,    0.2 mm, 0.3 mm, 0.5 mm, 1 mm ? (選配件) 
 
數字脈沖處理器 

? 4096 CH 數字多道處理器 

? 含死時間校正和脈沖累積消除功能的自動信號處理