日本愛發科ULVAC干真空泵LR/HR/UR系列

低溫泵：LR系列泵是為負載鎖定或PVD工藝設計的; ULVAC的鋁設計允許在整個泵體上的溫度分布非常均勻：HR曝氣泵是為CVD和蝕刻工藝設計的; ULVAC UR系列泵適用于需要加熱泵、加熱氣體管道和/或加熱排氣管的場合; 優良的氦氣抽氣能力：罐裝電機，安全，維修方便; 電源故障保護：泵能承受高達1000毫秒的電源中斷; 優異的耐腐蝕性能：內部部件經過特殊處理，表面硬度高，耐腐蝕性能好。這樣可以防止內部泵部件在暴露在腐蝕性氣體中時發生磨損和腐蝕; 通訊功能：可輸出水泵數據，包括警告和警報。廣泛的泵控制是可用的; CE標記可用：CE標記可根據要求提供。

  ULVAC利用干泵內部產生的熱量的方法使LR/HR/UR系列即使在Z嚴格的過程中也能發揮作用。ULVAC的設計工作重點是在所有泵的各個階段保持的溫度，使這個系列泵Z適合CVD和蝕刻應用。

      ULVAC的生態沖擊可以被添加到LR泵中，以獲得高達70%的能量節省，可用于任何輕工藝包括抽氣或氮氣。

      【特征】

      低溫泵：LR系列泵是為負載鎖定或PVD工藝設計的。

      ULVAC的鋁設計允許在整個泵體上的溫度分布非常均勻：HR曝氣泵是為CVD和蝕刻工藝設計的。

      ULVAC UR系列泵適用于需要加熱泵、加熱氣體管道和/或加熱排氣管的場合。

      優良的氦氣抽氣能力：罐裝電機，安全，維修方便。

      電源故障保護：泵能承受高達1000毫秒的電源中斷。

      優異的耐腐蝕性能：內部部件經過特殊處理，表面硬度高，耐腐蝕性能好。這樣可以防止內部泵部件在暴露在腐蝕性氣體中時發生磨損和腐蝕。

      通訊功能：可輸出水泵數據，包括警告和警報。廣泛的泵控制是可用的。
      CE標記可用：CE標記可根據要求提供。

      【應用】

      泵是專為CVD或干法蝕刻應用而設計的。

      泵是為PVD、蒸發或熱處理工藝而設計的。

      縮短LL室排氣時間(LR系列)

      泵用于處理產生粉末的過程氣體，如Si晶體生長爐等。

      渦輪分子泵和機械助推器泵

      【規格】

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