工程單位
測量氣體流量和相關的累積器數據,可以通過前面板
按鍵或者數字接口指令直接設置工程單位。支持下列測量
單位:百分比、mL/min、mL/hr、 scfm、scfh、 sL/min、
sL/hr、 lbs/hr、 bs/min以及一個用戶定義的測量單位。
多氣體校準
DFM可存儲最多10種氣體的校準數據。也可以在氣體比
例精確的條件下進行多氣體校準。
轉換系數
DFM最多可存儲32種氣體的轉換系數,而且用戶可自定
義轉換系數,轉換系數可以通過按鍵或數字接口指令從任何
十種氣體校準數據中轉換。
測量氣體流量和相關的累積器數據,可以通過前面板
按鍵或者數字接口指令直接設置工程單位。支持下列測量
單位:百分比、mL/min、mL/hr、 scfm、scfh、 sL/min、
sL/hr、 lbs/hr、 bs/min以及一個用戶定義的測量單位。
多氣體校準
DFM可存儲最多10種氣體的校準數據。也可以在氣體比
例精確的條件下進行多氣體校準。
轉換系數
DFM最多可存儲32種氣體的轉換系數,而且用戶可自定
義轉換系數,轉換系數可以通過按鍵或數字接口指令從任何
十種氣體校準數據中轉換。