Nikon L200高倍金相顯微鏡專為8寸晶圓及大面板LCD/TFT產(chǎn)業(yè)開發(fā)設(shè)計(jì)。同樣采用的CFI60無窮遠(yuǎn)高對(duì)比度光學(xué)系統(tǒng)將尼康的CF（消色差）設(shè)計(jì)與無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)結(jié)合在一起，使得物鏡不僅工作距離更長，而且數(shù)值孔徑更高，并提供高達(dá)25mm的廣闊視野。
Nikon L200高倍金相顯微鏡的特點(diǎn)：
一可以觀察的硅片直徑為200mm，觀察倍率15X～3000X（視目鏡和物鏡的組合而定）；
二，物鏡齊焦距離為60mm，可以兼顧高數(shù)值孔徑和長工作距離兩方面的要求；
三，主機(jī)剛性高，具有很好的抗振性能，具有防塵、防污染、防靜電功能；
四，光亮調(diào)節(jié)、光闌調(diào)節(jié)、物鏡轉(zhuǎn)換等操作都集中在前面，使用方便，即使長期操作也不易產(chǎn)生疲勞；
五，可以與尼康的硅片輸送機(jī)配合使用，提高硅片檢測效率。
六， ＜微分干涉套＞ 全體物鏡共用物鏡轉(zhuǎn)換器內(nèi)的諾曼斯基棱鏡，結(jié)構(gòu)簡單，成象質(zhì)量高。
L200D顯微鏡現(xiàn)有的配置:
主體 | 透反射光主體,透射光內(nèi)置 |
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 調(diào)焦高度:29mm,粗調(diào)1圈:,微調(diào)1圈:,每小格:1um; 樣品高度:13mm |
目鏡 | CFI目鏡系列:CFIUW 10X/25; |
照明系統(tǒng) | 反射光:12V100W鹵素?zé)艄庠?電動(dòng)孔徑大小調(diào)節(jié) |
透射光:12V100W鹵素?zé)艄庠?長工作距離聚光鏡 | |
物鏡轉(zhuǎn)盤 | 6孔電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤,帶DIC插槽; |
物鏡 | CFI LU/L Plan 系列物鏡 LU Plan 5X NA: WD:; LU Plan10X NA: WD: LU Plan 20X NA: WD:; LU Plan 50X NA: WD: |
載物臺(tái) | 8英寸平臺(tái),移動(dòng)范圍:205X205mm;透射觀察范圍:150mmX150mm |
觀察筒 | L2-TT2 超寬視野正立傾角三目觀察筒;視野數(shù):25; |
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