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高真空單室熱蒸發系統

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱沈陽科晶自動化設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地沈陽市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/6/30 21:19:39
  • 訪問次數205
產品標簽:

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沈陽科晶自動化設備有限公司是由畢業于美國麻省理工學院的江曉平博士于2000年5月創建。與合肥科晶材料技術有限公司、深圳市科晶智達科技有限公司同屬于科晶聯盟。自SYJ-150低速金剛石切割機誕生以來,沈陽科晶便開始了以趕超國外同行、材料分析設備潮流為目標的發展歷程。時至今日,已經擁有涵蓋材料切割、研磨、拋光、涂膜、鍍膜、混合、壓軋、燒結、分析等領域以及相關耗材的上百種產品,可以滿足晶體、陶瓷、玻璃、巖相、礦樣、金屬材料、耐火材料、復合材料、生物材料等制備分析的全套需要。  沈陽科晶立足國內市場實際情況,以提供實用的產品為己任。產品的質量、精度在向國外企業看齊的基礎上,產品的價格定位卻僅僅是其幾分之一。的性價比不僅吸引了眾多國內客戶,而且令挑剔的外國客商也稱贊不已,產品遠銷于印度、馬來西亞、土耳其、波蘭、突尼斯、澳大利亞等國家,并大量出口于美國。  沈陽科晶一直致力于高等院校、研究所、生產企業的科研服務,即產品定位于研究市場,主要面向廣大高等院校、科研機構、實驗室以及工廠的小規模生產。多年以來,已與全國眾多高校、研究院所建立了良好的合作、服務關系。其中北京大學、清華大學、浙江大學、哈爾濱工業大學、東北大學等高校,金屬研究所、上海硅酸鹽研究所、中國科學地質與地球物理研究所等科研機構,中國航天工業集團公司、中國船舶重工集團公司、攀鋼集團有限公司等企業都是長期合作的榮譽客戶。  沈陽科晶為了更好地服務客戶,專門設立了開放式專業實驗室,配備了優秀的專業技術人員。在這里,不僅可以提供親身的產品體驗環境,而且還可得到專業人員的操作指導。開設以來,制作的樣品達上千件,接待來訪客戶參觀百余次,其中包括多次外國友人的來訪。在此,沈陽科晶全體員工誠摯地歡迎您的到來,并希望您能提出寶貴的意見與建議。此外,沈陽科晶擁有優質、高效、專業的銷售咨詢、售后服務團隊,能夠為每一位客戶提供采購建議與方案、完善的使用指導與售后服務。使每一位客戶的需求得到滿足是沈陽科晶每個員工不懈努力的目標。  沈陽科晶一路走過的歷程,是為我國材料研究事業全力貢獻的歷程,是以實際行動將自己打造成國內材料分析設備品牌的歷程,是與國外同行不斷縮小差距的歷程,是與廣大客戶相扶相持的成長歷程。雖一路充滿坎坷與荊棘,但堅持不懈的沈陽科晶人仍全力以赴的前行。秉承這份堅持,相信在不久的將來,沈陽科晶也將會成為國際市場上專業的、杰出的材料分析設備品牌,沈陽科晶的明天會更加燦爛輝煌。
高真空單室熱蒸發系統
高真空單室熱蒸發系統 產品信息

產品簡介:高真空單室熱蒸發系統用于納米級單層及多層功能膜、硬質膜、金屬膜、 半導體膜、介質膜等新型薄膜材料的制備。廣泛應用 于大專院校、科研院所的薄膜材料科研與小批量制備。

產品型號

高真空單室熱蒸發系統

主要特點

系統主要由真空室系統蒸發室、蒸發源系統、樣品臺系統、 真空抽氣及測量系統、氣路系統、控制系統、膜厚測試 系統、上蓋液壓開啟機構、電控系統組成。

技術參數

1、極限真空度5×10-5Pa,系統漏率:1×10-7PaL/S; 恢復真空時間:40分鐘可達6.6×10 Pa(短時間暴露 大氣并充干燥氮氣后開始抽氣)
2、真空室:圓形真空室,尺寸300× 350mm
3、樣品臺:尺寸為3英寸×3英寸,厚度3.2mm的平面樣品;
4、金屬電極:數量:1支,標準型釬焊間接水冷結構;直徑Φ20㎜,內水冷
5、有機束源爐:數量:3支,標準型600度控溫,向上蒸發成膜;
6、樣品架:在基片轉盤上有1個基片位置放置樣品托(樣品托可以分別放置2英寸)孔安裝加熱爐。為了在2英寸基片臺范圍內提高膜厚均勻性,基片在鍍膜位置實現自轉。基片的溫度從室溫至600℃(硅片上表面的溫度,只需標定一次即可)
7、4套擋板系統:基片擋板與源擋板;靶擋板共有3套,動密封手動控制; 樣品擋板(1套),磁力撥叉
8、手動控制 氣路系統:質量流量控制器1路 石英晶振膜厚控制儀:膜厚測量范圍0-999999Å 可選分子泵組或者低溫泵組合渦旋干泵抽氣系統

標準配件

 

可選配件

 

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