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高真空快速CVD系統OTF-1200X-4-RTP-C3HV

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱沈陽科晶自動化設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地沈陽市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/6/30 21:14:37
  • 訪問次數155
產品標簽:

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沈陽科晶自動化設備有限公司是由畢業于美國麻省理工學院的江曉平博士于2000年5月創建。與合肥科晶材料技術有限公司、深圳市科晶智達科技有限公司同屬于科晶聯盟。自SYJ-150低速金剛石切割機誕生以來,沈陽科晶便開始了以趕超國外同行、材料分析設備潮流為目標的發展歷程。時至今日,已經擁有涵蓋材料切割、研磨、拋光、涂膜、鍍膜、混合、壓軋、燒結、分析等領域以及相關耗材的上百種產品,可以滿足晶體、陶瓷、玻璃、巖相、礦樣、金屬材料、耐火材料、復合材料、生物材料等制備分析的全套需要。  沈陽科晶立足國內市場實際情況,以提供實用的產品為己任。產品的質量、精度在向國外企業看齊的基礎上,產品的價格定位卻僅僅是其幾分之一。的性價比不僅吸引了眾多國內客戶,而且令挑剔的外國客商也稱贊不已,產品遠銷于印度、馬來西亞、土耳其、波蘭、突尼斯、澳大利亞等國家,并大量出口于美國。  沈陽科晶一直致力于高等院校、研究所、生產企業的科研服務,即產品定位于研究市場,主要面向廣大高等院校、科研機構、實驗室以及工廠的小規模生產。多年以來,已與全國眾多高校、研究院所建立了良好的合作、服務關系。其中北京大學、清華大學、浙江大學、哈爾濱工業大學、東北大學等高校,金屬研究所、上海硅酸鹽研究所、中國科學地質與地球物理研究所等科研機構,中國航天工業集團公司、中國船舶重工集團公司、攀鋼集團有限公司等企業都是長期合作的榮譽客戶。  沈陽科晶為了更好地服務客戶,專門設立了開放式專業實驗室,配備了優秀的專業技術人員。在這里,不僅可以提供親身的產品體驗環境,而且還可得到專業人員的操作指導。開設以來,制作的樣品達上千件,接待來訪客戶參觀百余次,其中包括多次外國友人的來訪。在此,沈陽科晶全體員工誠摯地歡迎您的到來,并希望您能提出寶貴的意見與建議。此外,沈陽科晶擁有優質、高效、專業的銷售咨詢、售后服務團隊,能夠為每一位客戶提供采購建議與方案、完善的使用指導與售后服務。使每一位客戶的需求得到滿足是沈陽科晶每個員工不懈努力的目標。  沈陽科晶一路走過的歷程,是為我國材料研究事業全力貢獻的歷程,是以實際行動將自己打造成國內材料分析設備品牌的歷程,是與國外同行不斷縮小差距的歷程,是與廣大客戶相扶相持的成長歷程。雖一路充滿坎坷與荊棘,但堅持不懈的沈陽科晶人仍全力以赴的前行。秉承這份堅持,相信在不久的將來,沈陽科晶也將會成為國際市場上專業的、杰出的材料分析設備品牌,沈陽科晶的明天會更加燦爛輝煌。
高真空快速CVD系統OTF-1200X-4-RTP-C3HV
高真空快速CVD系統OTF-1200X-4-RTP-C3HV 產品信息

產品簡介:高真空快速CVD系統OTF-1200X-4-RTP-C3HV是由4″RTP爐、三通道混氣系統和高真空機組組成,可進行半導體基片、太陽能電池及其它樣品(尺寸可達3″ )的退火,并采用 10KW的紅外燈進行加熱,升溫速度可達 120/s,配有RS485 接口,可以通過控制軟件在計算機上控制運行并顯示溫度曲線。

 

 

產品型號

高真空快速CVD系統OTF-1200X-4-RTP-C3HV

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設備腔室內需充注氣體,需自備氣瓶氣源

4、工作臺:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上

5、通風裝置:需要

主要特點

1Al2O3纖維鋼構,無需水冷或風冷。

2內爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層,可以提高設備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。

3PID制器,可以設置30段升降溫程序,并設有過熱保護和斷偶功能。

4通過CE認證。

技術參數

1電源:單相208V-240V AC  50Hz/60Hz  10KW

2、石英管:外徑Ø110mm,內徑Ø103mm,長380mm

3、加熱元件:8根紅外燈管,燈絲長200mm,絲圈Ø10mm,燈長300mm

4、加熱區:300mm

5工作溫度:溫度1100

6控溫精度:±0.5

7、升溫速度:RT-800℃時為50/s800-1000℃時為10/s

8、溫控儀:可控硅(SCRPID自動控制

9真空法蘭:不銹鋼,帶有水冷接口和針閥,雙層高溫O型圈密封,長時間在>900℃條件下運行必須采用水 冷,循環水流量為0.5m3/hr

10、真空度:10-2torr(機械泵),10-5torr(分子泵)

11質量流量計:3個,MFC1范圍0-100sccmMFC2范圍0-200sccmMFC3范圍0-500sccm,精度1±%FS

12氣罐:Ø80mm×120mm

產品規格

尺寸:爐體760mm×330mm×530mm,真空混氣系統600mm×600mm×597mm

重量:爐體45kg,真空混氣系統75kg

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