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單室等離子增強化學氣相沉積(PECVD)

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱沈陽科晶自動化設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地沈陽市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/6/30 21:06:43
  • 訪問次數398
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沈陽科晶自動化設備有限公司是由畢業于美國麻省理工學院的江曉平博士于2000年5月創建。與合肥科晶材料技術有限公司、深圳市科晶智達科技有限公司同屬于科晶聯盟。自SYJ-150低速金剛石切割機誕生以來,沈陽科晶便開始了以趕超國外同行、材料分析設備潮流為目標的發展歷程。時至今日,已經擁有涵蓋材料切割、研磨、拋光、涂膜、鍍膜、混合、壓軋、燒結、分析等領域以及相關耗材的上百種產品,可以滿足晶體、陶瓷、玻璃、巖相、礦樣、金屬材料、耐火材料、復合材料、生物材料等制備分析的全套需要。  沈陽科晶立足國內市場實際情況,以提供實用的產品為己任。產品的質量、精度在向國外企業看齊的基礎上,產品的價格定位卻僅僅是其幾分之一。的性價比不僅吸引了眾多國內客戶,而且令挑剔的外國客商也稱贊不已,產品遠銷于印度、馬來西亞、土耳其、波蘭、突尼斯、澳大利亞等國家,并大量出口于美國。  沈陽科晶一直致力于高等院校、研究所、生產企業的科研服務,即產品定位于研究市場,主要面向廣大高等院校、科研機構、實驗室以及工廠的小規模生產。多年以來,已與全國眾多高校、研究院所建立了良好的合作、服務關系。其中北京大學、清華大學、浙江大學、哈爾濱工業大學、東北大學等高校,金屬研究所、上海硅酸鹽研究所、中國科學地質與地球物理研究所等科研機構,中國航天工業集團公司、中國船舶重工集團公司、攀鋼集團有限公司等企業都是長期合作的榮譽客戶。  沈陽科晶為了更好地服務客戶,專門設立了開放式專業實驗室,配備了優秀的專業技術人員。在這里,不僅可以提供親身的產品體驗環境,而且還可得到專業人員的操作指導。開設以來,制作的樣品達上千件,接待來訪客戶參觀百余次,其中包括多次外國友人的來訪。在此,沈陽科晶全體員工誠摯地歡迎您的到來,并希望您能提出寶貴的意見與建議。此外,沈陽科晶擁有優質、高效、專業的銷售咨詢、售后服務團隊,能夠為每一位客戶提供采購建議與方案、完善的使用指導與售后服務。使每一位客戶的需求得到滿足是沈陽科晶每個員工不懈努力的目標。  沈陽科晶一路走過的歷程,是為我國材料研究事業全力貢獻的歷程,是以實際行動將自己打造成國內材料分析設備品牌的歷程,是與國外同行不斷縮小差距的歷程,是與廣大客戶相扶相持的成長歷程。雖一路充滿坎坷與荊棘,但堅持不懈的沈陽科晶人仍全力以赴的前行。秉承這份堅持,相信在不久的將來,沈陽科晶也將會成為國際市場上專業的、杰出的材料分析設備品牌,沈陽科晶的明天會更加燦爛輝煌。
單室等離子增強化學氣相沉積(PECVD)
單室等離子增強化學氣相沉積(PECVD) 產品信息

產品簡介單室等離子增強化學氣相沉積(PECVD)是一種用等離子體激活反應氣體,促進在基體表面或近表面空間進行化學反應,生成固態膜的技術。等離子體化學氣相沉積技術的基本原理是在高頻或直流電場作用下,源氣體電離形成等離子體,利用低溫等離子體作為能量源,通入適量的反應氣體,利用等離子體放電,使反應氣體激活并實現化學氣相沉積的技術。該系統為單室等離子增強化學氣相沉積(PECVD)工藝研發設備,用于生長納米線或用CVD,方法來制作各種薄膜是一款新的探索工具。

 

產品名稱

單室等離子增強化學氣相沉積(PECVD)

安裝條件

1、環境溫度10℃~35℃

2、相對濕度不大于75%

3、供電電源220V、單、50±0.5 Hz

4、設備功率:小于4KW   

5、供水水壓0.2MPa~0.4MPa,水溫15℃~25℃

6、設備周圍環境整潔,空氣清潔,不應有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬導電的塵埃或氣體存在。

技術參數

1、系統采用單室筒式結構,手動前開門;
2、真空室組件及配備零部件全部采用優質不銹鋼材料制造(304),氬弧焊接,表面采用噴玻璃丸+電化學拋光鈍化處理配有可視觀察窗口,并帶擋板,真空室尺寸為Φ300mm×300mm;

3極限真空度:8.0x10-5 Pa (經烘烤除氣后,采用600L/S分子泵抽氣,前級采用4L/S);系統真空檢漏漏率:≤5.0x10-7Pa.l/S; 系統從大氣開始抽氣到8.0x10-4 Pa,40分鐘可達到; 停泵關機12小時后真空度:≤5 Pa;
4采用樣品在下,噴淋頭在上的電容式耦合方式進氣;
5樣品加熱溫度:500℃,溫控精度:±1°C,采用溫控表進行控溫;
6噴淋頭尺寸:Φ90mm,噴淋頭與樣品之間電極間距10-65mm在線連續可調(可根據工藝調整),并帶有標尺指數顯示;
7.沉積工作真空:13.3-133Pa(可根據工藝調整)
8、射頻電源:頻率 13.56MHz,功率300W全自動匹配;
9、氣體種類(用戶自備)標準配置為2路100sccm質量控制器,用戶可根據工藝更改氣路配置;

10、氣體過濾設備用戶自備;

11、系統尾氣處理系統(用戶自備)。

關鍵詞:過濾設備
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