Hitachi S-3400N
一、日立掃描電子顯微鏡S--3400N型的特點
1. S-3400N具有強大的自動功能，包括自動燈絲飽和、4偏壓、自動槍對中、自動束流設定、自動合軸自動聚焦和消像散、自動亮度對比度等。
2. 在3kV低加速電壓時保證有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高靈敏半導體式背散射探頭。
4. S-3400N II型具有五軸馬達臺，傾斜角度可達-20度~+90度，樣品zui高可達80mm。
5. 分析樣品倉可以同時安裝EDX ， WDX 及EBSD。
6. 真空系統使用渦輪分子泵，潔凈、高效。
真空系統使用渦輪分子泵，潔凈，高效。
二、日立掃描電子顯微鏡S--3400N型的技術指標
項目 | 描述 | |
SE分辨率 | (30kV)，高真空模式 | |
BSE分辨率 | (30kV)，低真空模式 | |
放大倍率 | x5 ~ x300,000 | |
加速電壓 | ~ 30 kV | |
低真空范圍 | 6 ~ 270 Pa | |
zui大樣品尺寸 | 直徑200mm | |
樣品臺 | I型 | II型 |
X | 0 ~ 80mm | 0 ~ 100mm |
Y | 0 ~ 40mm | 0 ~ 50mm |
Z | 5 ~ 35mm | 5 ~ 65mm |
R | 360o | 360o |
T | -20o~ +90o | -20o ~ +90o |
zui大樣品高度 | 35mm (WD=10mm) | 80mm (WD=10mm) |
驅動類型 | 手動 | 五軸馬達驅動 |
燈絲 | 預對中鎢燈絲 | |
物鏡光欄 | 可移動式4孔物鏡光欄 | |
槍偏壓 | 固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏 | |
檢測器 | 二次電子檢測器 | |
分析位置 | WD=10mm, TOA=35o | |
控制 | 鼠標、鍵盤，手動旋鈕 | |
自動調校 | 自動燈絲飽和、自動4偏壓、自動槍對中、自動束流設定、自動合軸、自動聚焦消像散、自動亮度對比度 | |
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