英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱：旋涂儀、旋涂機(jī)、甩膠機(jī)、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)。
KW系列勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速等優(yōu)點(diǎn)，并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。
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|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1.帶防飛片保護(hù)與報警 2.帶防進(jìn)膠保護(hù)與報警 3.電機(jī)可正反轉(zhuǎn) 4.配方帶掉電保護(hù)功能 5.加速度可調(diào) 5.帶開蓋保護(hù)(KW-4C-I型) | |||||||
| 精度 | 指標(biāo) | ||||||
| 基片尺寸 | 5-150mm | ||||||
| 速度范圍 | 1-10000RPM/1-12000RPM(KW-4C-I型) | ||||||
| 轉(zhuǎn)速精度 | 1RPM | ||||||
| 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度 | ±0.1% | ||||||
| 加速度范圍 | 1-10000RPM/S | ||||||
| 膠均勻性 | ±1% | ||||||
| 控制信號 | 指標(biāo) | ||||||
| 人機(jī)界面 | 4.3寸觸摸屏 | ||||||
| 通信接口 | 可接無線鼠標(biāo)鍵盤：機(jī)器可放于手套箱內(nèi),同時客戶可在手套箱外遠(yuǎn)程操作機(jī)器 | ||||||
| 旋轉(zhuǎn)方向 | 支持正反轉(zhuǎn) | ||||||
| 觸控筆 | BAMBOO電阻筆(標(biāo)配) | ||||||
| 真空泵 | AP-550V無油泵/FY油泵 | ||||||
| 編程模式 | 參數(shù) | ||||||
| 設(shè)置數(shù)據(jù) | 無限組數(shù)據(jù)，每組10段轉(zhuǎn)速(標(biāo)配) | ||||||
| 每段時間 | 0-10000秒 | ||||||
| 存儲數(shù)據(jù) | 無限組數(shù)據(jù) | ||||||
| 電氣參數(shù) | 指標(biāo) | ||||||
| 勻膠機(jī)交流供電口 | AC100-250V | ||||||
| 真空泵交流供電口 | AC220V(標(biāo)配) AC110V(選配) | ||||||
| 勻膠機(jī)功率 | 200W | ||||||
| 真空泵功率 | 350W | ||||||
| 真空泵抽速 | ≥60L/MIN | ||||||
| 機(jī)械尺寸 | 參數(shù) | ||||||
| 勻膠機(jī)體積 | 210mm(W)X220mm(D)X160mm(H) | ||||||
| 勻膠機(jī)重量 | 10KG | ||||||
| 泵重量 | 9KG | ||||||
| 使用環(huán)境 | 參數(shù) | ||||||
| 環(huán)境溫度 | 0-40℃ | ||||||
| 相對濕度 | < 85% | ||||||
| 放置于桌面 | 可通過自帶水平儀調(diào)節(jié)機(jī)器水平 | ||||||
| 技術(shù)支持 | 指標(biāo) | ||||||
| 質(zhì)保期 | 1年 | ||||||
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