新型加熱翹曲度測是/平面度測是的優點： |
可測量尺寸為360ｍｍ×360ｍｍ 高度±30ｍｍ的貼裝基板； |
通過熱風的對流加熱方式，還原接近于實際回流環境的環境條件； |
可通過軟件簡單快速地設定溫度曲線； |
可通過高精細內藏輪廓傳感頭測量由加熱導致的基板翹曲及共面性； |
可通過高感度照觀察加熱時的基板變化情況； |
回流爐內的情況一目了然； |
項目 | 規格 |
基板尺寸 | 大小：360ｍｍ×360ｍｍ以下 |
裝置尺寸 | 1344W×900D×1260H |
觀察裝置尺寸 | 700W×452D×168H |
加熱策寸 | 516W×170D×335H |
氣體循環裝置 | 431W×140D×500H |
加熱方式 | 上下面：熱風循環方式（氮氣或空氣） |
冷卻方式 | 通過導入外部氣體（氮氣或空氣） |
電源 | 3相 200V50/60Hz 10k VA（MAX） |
外部氣體 | ? 100L/min |
爐內氧濃度 | 約100ppm（MAX） |
加熱方式 | 熱風加熱器（2kw×4、500w×3） |
測量溫度 | 常溫?330℃ |
氮氣消耗量 | 100L/min |
100L/min | 100L/min |
掃描時間 | 360mm×360mm 27秒（max約10秒） |
控制 軟件 | SRS-3 MS對應OSWindows10 |
重量 | 約100kg |
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