有機發光二極管(OLED)技術作為一種新興顯示技術，具有器件輕薄、可視角度大、柔性顯示、節省電能等優勢，已廣泛應用于各個領域。矽碁科技具有豐富的OLED系統集成經驗，可根據客戶需求，集成各類工藝腔體，為客戶量身打造OLED技術開發設備。矽碁提供兩種OLED設備架構：

Cluster架構：傳輸腔體連接各工藝腔體，機械手臂傳片，全自動控制，可連續生產

In-line架構：手套箱串接各工藝腔體，手動傳片，架構靈活，拓展性強，性價比高

矽碁科技擁有超過10年的OLED Cluster設備制造的經驗，同時與學術和工業界都有非常密切的的合作。矽碁科技還與中國臺灣多家*的OLED研究機構建有合作實驗室(明志科技大學，曜凌光電)，長期從事OLED技術研發和技術更新，可與客戶進行深度的OLED技術交流及合作。

可選配置：

1 預處理腔體；

2 傳輸腔體；

3 有機物蒸發鍍膜腔體；

4 金屬蒸發鍍膜腔體；

5 磁控濺射腔體；

6 原子層沉積封裝腔體；

7 高分子封裝鍍膜腔體；

8 Mask/基片存儲腔體；

9 機械/CCD對準機構；

10 手套箱集成；

手動傳樣三腔體OLED Cluster

帶ALD封裝的三腔體OLED Cluster

標準6邊型OLEDCluster

標準全自動OLED Cluster鍍膜系統