型號 DC-M500
產品介紹:
DC-M500系列的熱式氣體質量流量控制器/流量計是
松盛測控自主研發的一款數模一體的大量程產品,其量
程范圍可從100SLM至600SLM,適用于氫、氮、氧、一
氧化碳、二氧化碳、稀有氣體等近百種氣體;本產品采
用新型工藝,+24V DC供電,******耐壓可達3Mpa。
產品性能:
1.響應速度快
2.耐壓程度高
3.抗干擾性強
4.數據傳輸遠
5.流量******控制
應用行業:
真空鍍膜設備、半導體工藝設備、化學與化工實驗設備、
食品科學與工程設備、能源與環境保護設備、各種分析儀
器設備、表面處理、真空冶金及材料工藝、高校及科研院
所實驗室設備。
注:
定。
2.質量流量單位:SCCM(標準毫升每分鐘) SLM(標準升每分鐘)
3.標準狀況:溫度--293.15K(20℃) 壓力--101325Pa(760mmHg) F.S(Full Scale)表
示滿量程