產品特點
觸摸屏操作界面
數字及圖標多重工藝參數實時顯示
三色燈異常報警功能
自動/手動操作模式切換
可存儲多套工藝配方
遠程操控,數據導出(可選)
模塊多樣化選擇,多層托架可選,處理量大
數字及圖標多重工藝參數實時顯示
三色燈異常報警功能
自動/手動操作模式切換
可存儲多套工藝配方
遠程操控,數據導出(可選)
模塊多樣化選擇,多層托架可選,處理量大
產品參數
型號 | JY-36LN | ||
控制系統 | 控制方式 | 全自動控制(自動/手動切換) | |
PLC(標配)/PC(可選) | |||
操作系統 | PLS定制 | ||
觸摸屏 | 15寸 | ||
整機規格 | 尺寸 | W650×D900×H1650mm | |
腔體 | 尺寸 | 320×280mm | |
材質 | 鋁合金(標配)/不銹鋼(可選) | ||
電極 | 尺寸 | W390×D317mm | |
層數 | 1-7層,可選 | ||
托架 | 材質 | 鋁合金(標配)/不銹鋼(可選) | |
層數 | 1層 | ||
真空計 | 皮拉尼式真空計 | 1個 | |
流量計 | MFC質量流量控制器 | 2個;Ar、N2、O2(可選) | |
真空泵 | 機械油式旋片泵 | 1套 | |
發生器 | 中頻/射頻 | 40KHz,0~1000W | 13.56MHz,0~500W |
額定功率 | 整機峰值功率 | 4KW | |
機臺供電 | 三相五線式 | AC-380V | |
選購品 | 干式泵、氣浴電極(打孔)、托架、接枝氣化儀、防腐密封、腔體加熱、加熱盤、溫度傳感器、H2安全閥、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、水冷電極、冰水機、模溫機、非標法蘭、陶瓷緊固件 |
注:以上參數僅供參考,本公司可能對相關產品參數進行調整,如有變動,恕不再另行通知。若有不明處,歡迎來電詢問。
工作原理
暴露在電子區域的氣體形成等離子體,由此產生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體,從而形成了等離子或離子,電離氣體原子通過電場加速時,會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。
應用領域
包裝清洗、鈍化層蝕刻、聚亞酰胺蝕刻、增強粘接力、生物醫學應用、聚合反應、混合物清洗、預結合清洗
快速反應,專業配合,精心打造服務生態鏈