ekasuga真空兼容靜電電位傳感器KS-3101
大氣壓和真空下的線性度
該圖顯示了使用 KS-3101 在真空室中施加任意電壓測量帶電板的電位的結果。即使在不同的壓力環境下（真空下10-3Pa，大氣壓下10+5Pa），無需校準也能得到相等的測量值。
*此數據為實測值，并非保證值。
使用真空兼容靜電勢傳感器測量對真空室的影響
脫氣分析比較
對傳感器放出的氣體的分析證實，氣體的主要成分是水和微量碳氫化合物。由于每個峰值與背景中測量的峰值相同，因此認為它源自環境中吸附在傳感器表面上的氣體。
●極限真空的比較
排氣系統：渦輪分子泵TG220FCAB，Osaka Vacuum Co., Ltd.制造
排氣速度：220L/sec(N2)
腔室尺寸：φ300×L 300mm
*此數據為實測值，并非保證值。
規格
| 模型 | KS-3101 |
|---|---|
| 檢測方法 | 振動表面電位傳感器 |
| 推薦真空度 | 10 5 Pa（大氣壓力）、10 -1至10 -5 Pa |
| 測量范圍 | HIGH量程：0～±20.0kV（測量距離100mm） LOW量程：0～±2000V（測量距離10mm） |
| 測量精度 | ±10%以內 |
| 警報 | 檢測傳感器故障LED顯示 |
| 使用環境 | 溫度0-40℃，濕度65%以下（無結露） |
| 大量的 | 約 130g（不包括電纜和控制盒） |
| 配置要領 | 真空電纜：KS-3101-C01（電纜長度1m，可延長） 控制箱：KS-3101-B05（帶大氣側電纜5M，可延長） 控制器：KSD-0110 或 KSD-0120 |
*真空法蘭需客戶自備。
作品
控制器
KSD-0110
支持觸摸屏和SD卡的高性能型
KSD-0120
強調可見性的簡單類型
*請在各自的頁面上查看控制器 KSD-0110 和 KSD-0120 的規格。
各部分尺寸/名稱
（1）測量單元（
2）調零單元（
3）外殼（不銹鋼鏡面）（
4）安裝墊片（鐵氟龍）（5）
量程選擇開關（
6）運行/故障指示燈
（7）充電指示燈(0, +, -) (
8) 專用電纜（帶連接器）
