RGL JOINT日本進口GF40數字質量流量控制器
用法 | ||
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規格表 | |||||
流速 | 控制器 | 3 sccm F. S ~ 50 slm N2 當量 | |||
儀表 | 3 sccm F. S ~ 50 slm N2 當量 | ||||
準確性 | ±1%SP (35-FS) ±0.35%FS (2-35%FS) | ||||
再現性 | <±0.2%SP | ||||
環境溫度范圍 | 5-50℃ | ||||
外部泄漏率 | GF40 1×10 -10 Pa?m3 / s He GF80 1×10 -11 Pa?m3 /s He | ||||
輸入/輸出 | 0-5VDC, 4-20mA, 0-20mA |