| 儀器型號(hào) | CNC600 | CNC700 | CNC1010 | CNC1210 | CNC1800 | CNC2500 | |||||||
| 儀器參數(shù) | |||||||||||||
| 測(cè) | X | 600 | 600 | 800 | 1200 | 1200 | 1500 | ||||||
| Y | 500 | 700 | 1000 | 1000 | 1800 | 2500 | |||||||
| Z | 200 | 200 | 200 | 200 | 200 | 200 | |||||||
| 工 | 硬鋁合金臺(tái)面 | 700*600 | 900×800 | 1540×1240 | 1820×1440 | 2020×1440 | 2700×1700 | ||||||
| 玻璃臺(tái)面 | 670*580 | 870×780 | 1500×1200 | 1780×1400 | 1980×1400 | 2650×1650 | |||||||
| 承重 | 50kg | 50kg | 50kg | 45kg | 45kg | 40kg | |||||||
| 影 | 測(cè)量速度 | MAX:1000mm/s | |||||||||||
| CCD | 美國(guó)TEO彩色高分辨率攝像機(jī)600TV線 | ||||||||||||
| 變焦物鏡 | 全自動(dòng)變倍：0.7－4.5X | ||||||||||||
| 視頻放大分倍率 | 30－245X | ||||||||||||
| 物方視場(chǎng) | 10.6－1.6mm | ||||||||||||
| 工作距離 | 82mm | ||||||||||||
| 顯示分辨率 | 0.0001mm | ||||||||||||
| 運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)：四軸（雙Z軸機(jī)型為六軸）全閉環(huán)控制：三軸交流伺服馬達(dá)全閉環(huán)控制，預(yù)壓線性滑軌與研磨級(jí)滾珠螺桿驅(qū)動(dòng)，步進(jìn)馬達(dá)同軸控制鏡頭組（雙Z軸機(jī)型：影像系統(tǒng)伺服馬達(dá)控制，探針系統(tǒng)伺服馬達(dá)控制） | |||||||||||||
| 重復(fù)性 | 1.5μm | ||||||||||||
| 測(cè)量精度 | XYZ軸≦(2+L/200)um,Z軸（光學(xué)測(cè)量時(shí)）≦(5+L/200)um | ||||||||||||
| 外形尺寸（mm) | 1400*1100*1780 | 1600*1300*1780 | 1900*1900*1780 | 2500*1900*1780 | 2700*1900*1780 | 3400*2100*1780 | |||||||
| 儀器重量(kg) | 900kg | 1800kg | 3200kg | 3900kg | 4200kg | 5100kg | |||||||
| 照明 | 可程控四環(huán)八區(qū)LED表面光及直軸輪廓冷光源（選配同軸冷光源）,亮度可調(diào) | ||||||||||||
| 電源 | 220V±10%(AC) 50HZ 電流大于20A | ||||||||||||
| 保修期 | 24個(gè)月 | ||||||||||||
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