德國 Iplas 微波等離子化學氣相沉積
詳細介紹
德國 IPLAS 微波等離子化學氣相沉積技術(MPCVD), 通過等離子增加前驅體的反應速率,降低反應溫度。適合制備面積大、均勻性好、純度高、結晶形態好的高質量硬質薄膜和晶體。
MPCVD是的制備大尺寸單晶金剛石有效手段之一。德國iplas公司的 CYRANNUS® 等離子技術解決了傳統等離子技術的局限,可以在10mbar到室壓范圍內激發高穩定度的等離子團,限度的減少了因氣流、氣壓、氣體成分、電壓等因素波動引起的等離子體狀態的變化,從而確保單晶生長的持續性,為合成大尺寸單晶金剛石提供有力保證。