德國MBE 分子束外延系統OCTOPLUS 500
OCTOPLUS 500 MBE系統的主要特點是的可靠性和普適性。標準的Octoplus 500有11個呈放射狀分布的源孔,可以根據需要增選3個源孔。快速抽真空進樣室配有水平磁力桿傳輸系統,可以在不破壞MBE腔室真空的前提下,簡便地進行樣品傳輸。
OCTOPLUS 500 MBE系統的的主要參數規格
● ID 550 mm
● 應用于III/V族, II/VI族或其他異質結構材料
● 6英寸晶片,或7x2英寸晶片
● 進樣室和緩沖腔室
● 線性樣品傳輸系統
● 標準法蘭孔數目(標準11個,可按要求增加3個)
● 束流源,氣體源,樣品臺
● 抽真空系統(離子吸附泵,分子泵,低溫泵等)
● 原位表征能力
● 軟件/硬件控制系統
● 額外要求可定制