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廣電計量檢測集團股份有限公司

芬蘭Picosun 原子層沉積機P-300S Pro ALD

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱深圳市科時達電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號P-300S Pro
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/6/16 19:02:31
  • 訪問次數178
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深圳市科時達電子科技有限公司創建于2011年,經過十年的發展,已經成長為一家專注于電子材料、半導體儀器設備、醫療設備三大產品領域的,是一家集研發、制造、銷售為一體的企業。我們的主營業務涉及了研發銷售及加工電子材料及周邊產品;電子光電產品設備研發組裝及銷售,半導體儀器設備銷售;國內貿易、貨物及技術進出口;醫療器械研發及銷售;醫用耗材及醫療用品的銷售等。科技創新是科時達公司的核心競爭力。我們擁有一支高度專業化的技術研發和管理團隊,建立了國內的實驗室和光電研究中心,與多家科研機構與大專院校開展“產、學、研”合作,成功開發出一系列具有高科技含量的市場產品,公司產品通國內科研機構的產品認證。同時,公司擁有電子信息領域相對完備的科技創新體系,在電子裝備、醫療設備、產業基礎、網絡安全等領域占據技術主導地位,肩負著支撐科技自立自強、推進國內科技現代化、加快數字經濟發展、服務社會民生的重要職責。聚焦“三大定位”主責,科時達公司按照“做優電子裝備、做大儀器設備、做精產業基礎、做強研發銷售”的總體布局,持續優化核心業務體系,推動企業在科技現代化建設、現代產業體系建設的核心關鍵技術節點上“布點”,在產業鏈價值鏈創新鏈關鍵環節上“成線”,在關系國家、國民經濟命脈和國計民生關鍵領域上“控面”。做強電子裝備,重點發展利用聲、光、電磁信號進行信息感知、傳輸、運用等的系統級裝備和產品,打造全域多維一體新一代電子裝備,不斷夯實在高??蒲蓄I域和高科枝企業的提供地位。做大儀器設備,重點發展半導體儀器基礎設施和醫療設備應用與整體解決方案,全面支撐基于網絡信息體系的聯合和全域能力提升、國家治理能力提升和數字化發展。做精產業基礎,重點打造形成電子基礎產品科研和生產的基礎支撐能力,以夯實產業鏈供應鏈自主可控能力為根本目標,推動以“科時達基因”為核心的銷售集群式發展。做強研發銷售,致力于電子產品的研發??茣r達公司是一家,多年來公司研發團隊致力于電子材料、半導體儀器和醫療設備的研發。同時企業還致力于將產品做好國內外市場銷售,在整體銷售模式中具備一套完整的銷售體系。以客戶需求為導向,以質量求生存,科時達公司以超凡的品質和優良的服務,獲得國內外市場的一致認可;公司營銷網絡覆蓋,產品世界各地,目前已經成為國內電子科技行業中重要的生產制造基地。
芬蘭Picosun原子層沉積機P-300SProALD技術參數工藝溫度:50-500°C襯底尺寸和類型:300mm晶圓/單片基片傳送選件:
芬蘭Picosun 原子層沉積機P-300S Pro ALD 產品信息

芬蘭Picosun 原子層沉積機P-300S Pro ALD



技術參數



工藝溫度: 50 - 500 °C



襯底尺寸和類型 :300mm晶圓/單片



基片傳送選件:

。 半自動裝載,用單片Load lock與磁力操縱桿實現
。25片晶圓盒對盒式全自動裝載(cassette-to-cassette),用PICOPLATFORM™ 300集群系統實現


標準 :SEMI S2認證


前驅體:

。液態,固態,氣態,臭氧源
。等離子體(僅供200mm晶圓使用,最多4路氣體)
。前驅源余量傳感器,并提供清洗和裝源服務
。6條獨立源管線,最多加載8個前驅體源(最多12個前驅體源,加上plasma管路共7根獨立源管線)


重量:820 kg


尺寸:(W x H x D) 160 cm x 80 cm x 240 cm


選件: 集群工具,PICOFLOW™擴散增強,N2發生器,尾氣處理,定制設計,與工廠軟件連接服務。


驗收標準 :

。標準設備驗收標準為Al2O3工藝,
。其他工藝可具體協商:其他工藝、應用具體驗收標準如:
- 不均勻性
- 顆粒物含量
- 重金屬污染
- 電學性能


關鍵詞:傳感器
15700106413
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