德國MBE 分子束外延系統OCTOPLUS 400
系統特點:
● 用于研發的普適性MBE系統
● 應用于III/V族, II/VI族材料外延生長
● 適用于2-4英寸樣品
● 8個標準的CF法蘭孔(根據要求可以拓展到10個)
● 可以升級和選配實現系統擴展
● 原位生長表征
● 易于使用和方便維護
系統特點:
● 用于研發的普適性MBE系統
● 應用于III/V族, II/VI族材料外延生長
● 適用于2-4英寸樣品
● 8個標準的CF法蘭孔(根據要求可以拓展到10個)
● 可以升級和選配實現系統擴展
● 原位生長表征
● 易于使用和方便維護