Axia ChemiSEM 智能型鎢燈絲掃描電鏡
【特點與應(yīng)用】
實時成分信息:同步掃描獲取多種信號時執(zhí)行能譜分析,實時檢測形貌與元素信息;
成像平臺即時可用:只需關(guān)注數(shù)據(jù)采集,不必憂慮電鏡條件設(shè)置;
更快獲得數(shù)據(jù):多種成像和掃描策略,優(yōu)化圖像采集效果并提升系統(tǒng)處理能力;
靈活的樣品臺設(shè)計:全開門式設(shè)計,大樣品可輕松加載到樣品倉內(nèi),樣品10 kg;
的成像性能:提供低真空模式和電子束減速模式用于消除荷電效應(yīng)。
【技術(shù)參數(shù)】
發(fā)射源:預(yù)對中鎢燈絲
分辨率:
高真空成像
nm@ 30 kV(SE); nm@ 3 kV(SE)
高真空下減速模式
nm@ 3 kV(BSE)
低真空成像
nm@ 30 kV(SE); nm@ 3 kV(BSE);10 nm@ 3 kV(SE)
放大倍數(shù):5 ~ 1,000,000×(寶麗來相紙放大)
加速電壓范圍:200 V ~ 30 kV
探針電流范圍:可達(dá)到2 μA,連續(xù)可調(diào)
低真空范圍:高達(dá)150 Pa
X-Ray工作距離:10 mm,EDS檢出角:35°
樣品室:內(nèi)寬280 mm,端口10個
樣品臺:五軸全自動馬達(dá)驅(qū)動
X=120 mm