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廣電計量檢測集團股份有限公司

等離子去膠機 IoN 100WB-40Q

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱深圳市科時達電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號IoN 100WB-
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/6/16 17:39:03
  • 訪問次數99
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深圳市科時達電子科技有限公司創建于2011年,經過十年的發展,已經成長為一家專注于電子材料、半導體儀器設備、醫療設備三大產品領域的,是一家集研發、制造、銷售為一體的企業。我們的主營業務涉及了研發銷售及加工電子材料及周邊產品;電子光電產品設備研發組裝及銷售,半導體儀器設備銷售;國內貿易、貨物及技術進出口;醫療器械研發及銷售;醫用耗材及醫療用品的銷售等??萍紕撔率强茣r達公司的核心競爭力。我們擁有一支高度專業化的技術研發和管理團隊,建立了國內的實驗室和光電研究中心,與多家科研機構與大專院校開展“產、學、研”合作,成功開發出一系列具有高科技含量的市場產品,公司產品通國內科研機構的產品認證。同時,公司擁有電子信息領域相對完備的科技創新體系,在電子裝備、醫療設備、產業基礎、網絡安全等領域占據技術主導地位,肩負著支撐科技自立自強、推進國內科技現代化、加快數字經濟發展、服務社會民生的重要職責。聚焦“三大定位”主責,科時達公司按照“做優電子裝備、做大儀器設備、做精產業基礎、做強研發銷售”的總體布局,持續優化核心業務體系,推動企業在科技現代化建設、現代產業體系建設的核心關鍵技術節點上“布點”,在產業鏈價值鏈創新鏈關鍵環節上“成線”,在關系國家、國民經濟命脈和國計民生關鍵領域上“控面”。做強電子裝備,重點發展利用聲、光、電磁信號進行信息感知、傳輸、運用等的系統級裝備和產品,打造全域多維一體新一代電子裝備,不斷夯實在高校科研領域和高科枝企業的提供地位。做大儀器設備,重點發展半導體儀器基礎設施和醫療設備應用與整體解決方案,全面支撐基于網絡信息體系的聯合和全域能力提升、國家治理能力提升和數字化發展。做精產業基礎,重點打造形成電子基礎產品科研和生產的基礎支撐能力,以夯實產業鏈供應鏈自主可控能力為根本目標,推動以“科時達基因”為核心的銷售集群式發展。做強研發銷售,致力于電子產品的研發??茣r達公司是一家,多年來公司研發團隊致力于電子材料、半導體儀器和醫療設備的研發。同時企業還致力于將產品做好國內外市場銷售,在整體銷售模式中具備一套完整的銷售體系。以客戶需求為導向,以質量求生存,科時達公司以超凡的品質和優良的服務,獲得國內外市場的一致認可;公司營銷網絡覆蓋,產品世界各地,目前已經成為國內電子科技行業中重要的生產制造基地。
IoN100WB-40Q是我們推出的具有高性價比的真空等離子去膠設備
等離子去膠機 IoN 100WB-40Q 產品信息

IoN 100WB-40Q是我們推出的具有高性價比的真空等離子去膠設備。它來源于IoN 100-40Q,IoN 100WB-40Q延續了同樣的品質保障,包括可選壓力控制器、光譜終點檢測器等豐富配置選擇。

IoN 100WB-40Q配備了一個圓筒石英腔,特別適用于半導體、LED、MEMS等領域的光刻膠灰化、打殘膠、氮化物刻蝕、表面清潔等應用的批次處理。

IoN 100 WB旨在滿足客戶的生產需求,著重于表面處理的多功能性和可控性。其*的性能提供了工藝控制、失效報警系統和數據采集軟件。這使得該設備可滿足半導體、LED、MEMS等領域嚴格的程序控制要求。IoN 100 WB結構緊湊,集成度高,采用射頻(RF)頻率激發等離子體。


規格參數
工作腔室材料 石英
腔門材質 鋁(標配)
腔體尺寸 直徑304 mm,深508mm

可處理晶圓尺寸 8”

處理量 50片6”

裝料方式 手動
       

工藝氣體
質量流量控制計 最多至6路氣體
工藝壓力 200-2000 mTorr(取決于真空泵和氣體流量)
抽真空時間 大約1分鐘 (取決于真空泵)

射頻電源 風冷,600 瓦(標準配置)
供給需求電源      220V 單相, 50Hz
工藝氣體 輸入壓力 1-2 bar
吹掃氣體 輸入壓力 1-2 bar
壓縮空氣 輸入壓力 4-6 bar


機體

● 獨立的機體帶有所有電源和氣體接口
● 帶有旋轉墊腳的可轉動機身



設備尺寸
標準尺寸 1067 x 737 x 1524 mm(寬/高/深,不含泵)
重量 約204千克(不含泵)

可選項

● 壓力控制器
● 1%精度的真空規

● 石英腔門
● 指示燈柱
● 條形碼閱讀器
● 工藝氣體切換器
● 光譜終點檢測器

● 耐腐蝕性氣體的MFC
● 1000 瓦 MHz射頻發生器
● 真空泵(油泵或干泵)

15700106413
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