該設備主要用于LED、MEMS、IC等行業標準晶圓勻膠、預烘工藝。
主要技術特點

采用星型布局形式,結構緊湊,效率高。

上/下片工位
鋁制標準晶圓片盒,不變形、易轉片。

雙臂機械手
選用進口多關節雙臂機械手,不僅具有較高的剛度、靈活性,而且傳輸速度快,定位精度高。

勻膠單元
勻膠腔采用進口PP材料制成,主軸電機采用進口定制的中空軸交流無刷伺服電機,保證旋轉轉速、加速度控制精度高,重復性、穩定性好。

冷/熱板單元
冷板/熱板單元是對晶圓進行預烘及冷卻處理,晶圓與盤體為非直接接觸方式,溫度穩定、精度高。
主要技術指標
晶圓尺寸:3″、4″
機械手:1套
勻膠單元:3套
主軸轉速:0~6000rpm,最小調整量:1rpm
轉速精度:±1rpm(50~5000rpm)
主軸加速度:100~20000rpm/sec
膠液數量:2路
背洗功能:可選
去邊功能:可選
光刻膠供給:精密膠泵
光刻膠供給量:1~10ml
光刻膠供給精度:±0.1ml
光刻膠粘度:≤1000Cp
光刻膠過濾:可選
熱板數量:6套
溫度范圍:室溫~180℃
最小調整量:0.1℃
加熱方式:云母加熱片加熱
溫度均勻性:±1℃@50℃~120℃、±2℃@120.1℃~180℃
冷板數量:2套
冷卻方式:廠務冷卻水循環冷卻
水溫范圍:18℃~30℃
外形尺寸:L1750mm×W1600mm×H1900mm
重量:1600Kg