六自由度并聯(lián)運動設(shè)計使其比串聯(lián)運動系統(tǒng)更加緊湊、更具剛性，動態(tài)范圍更大，無移動電纜：更穩(wěn)定、摩擦更小 真空兼容型可達10-6百帕.
無刷直流電機(BLDC)
無刷直流電機尤其適合高旋轉(zhuǎn)速度。能夠精確對其進行控制并確保高精度。由于無滑動接觸，可無磨損地平穩(wěn)運行，因此能夠?qū)崿F(xiàn)較長的使用壽命。
應(yīng)用領(lǐng)域
科研和工業(yè)，標(biāo)準(zhǔn)和真空環(huán)境。用于微制造、醫(yī)藥技術(shù)、刀具控制。
| H-811.I2 | 單位 | 公差 | |
|---|---|---|---|
| 主動軸 | X，Y，Z，θX，θY，θZ | ||
| 運動和定位 | |||
| X、Y向上的行程* | ±17, ±16 | 毫米 | |
| Z向上的行程* | ±6.5 | 毫米 | |
| θX、θY向上的行程* | ±10, ±10 | ° | |
| θZ向上的行程* | ±21 | ° | |
| 促動器設(shè)計分辨率 | 5 | 納米 | |
| X、Y向上的最小位移 | 0.2 | 微米 | 典型值 |
| Z向上的最小位移 | 0.08 | 微米 | 典型值 |
| θX、θY、θZ向上的最小位移 | 2.5 | 微弧度 | 典型值 |
| X、Y向上的空回 | 0.2 | 微米 | 典型值 |
| Z向上的空回 | 0.06 | 微米 | 典型值 |
| θX、θY向上的空回 | 4 | 微弧度 | 典型值 |
| θZ向上的空回 | 4 | 微弧度 | 典型值 |
| X、Y向上的重復(fù)精度 | ±0.15 | 微米 | 典型值 |
| Z向上的重復(fù)精度 | ±0.06 | 微米 | 典型值 |
| θX、θY向上的重復(fù)精度 | ±2 | 微弧度 | 典型值 |
| θZ向上的重復(fù)精度 | ±3 | 微弧度 | 典型值 |
| X、Y和Z向上的速度 | 20 | 毫米/秒 | |
| θX、θY、θZ向上的速度 | 500 | 毫弧度/秒 | |
| Typ. X、Y和Z向上的典型速度 | 10 | 毫米/秒 | |
| Typ. θX、θY、θZ向上的速度 | 240 | 毫弧度/秒 | |
| 機械特性 | |||
| X、Y向上的剛性 | 0.7 | 牛/微米 | |
| Z向上的剛性 | 8 | 牛/微米 | |
| 負載能力（底板為水平方向/任意方向） | 5 / 2.5 | 千克 |
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| 保持力，斷電（底板為水平方向/任意方向） | 15 / 2.5 | 牛 |
|
| 電機類型 | BLDC電機 | ||
| 其他 | |||
| 工作溫度范圍 | 0 到 50 | °C | |
| 材料 | 不銹鋼，鋁 | ||
| 質(zhì)量 | 2.2 | 千克 | ±5 % |
| 電纜長度 | 0.5 + 3 | 米 | ±10 毫米 |
