技術參數
項目 | 通用指標 |
頻率 | 2MHz/13.56MHz/27.12MHz/40MHz/60MHz |
頻率誤差 | 0.005% |
額定輸出功率 | 5w-1.5kW/3kW；30W-6kW；50W-10kW |
功率模式 | Forward power；load power |
功率步進 | 1W（最小0.1W-低功率高精度模式，5W開始） |
功率重復性（同一電源） | ±0.5% |
整機效率（額定功率下） | 63% |
散熱方式 | 水冷+風冷 |
通信接口 | Analog/Ether CAT/RS232/Ether NET/local |
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- 工作模式
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連續波
脈沖波
- 應用范圍
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ICP/CCP干法刻蝕
PECVD
