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尾氣處理設備

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱格林斯達(北京)環保科技股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/6/1 14:02:30
  • 訪問次數136
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格林斯達環保集團是一家集環保咨詢、研發設計、加工制造、設備銷售、系統集成、智慧運維于一體的廢氣處理解決方案提供商。 總公司格林斯達(北京)環保科技股份有限公司成立于2009年,是走在世界環保領域前端的國家,2016年全資子公司格林斯達(北京)環保工程有限公司成立,并取得環保專業承包及機電安裝專業承包資質,2018年成功掛牌新三板(代碼:873139),2019年上海分公司成立,迅速占領華東市場,2021年深圳分公司及生產研發基地安徽格林斯達環保設備有限公司成立,進軍華南市場的同時,自主研發及生產智能環保設備。 作為行業內系統化解決方案提供商,格林斯達十多年來專注企業廢氣處理,同時從事污水處理及污水除臭等相關業務。服務于電子、涂裝、醫藥、化工、食品等多個領域的國內外大中型企業,擁有中芯國際、富士康、京東方、博世力士樂、同仁堂、霍尼韋爾、眾興菌業等眾多成功案例。 目前已擁有多個發明、實用新型及計算機軟件著作權登記證書,并依托北京石油化工學院的教研實驗室及自有設備研發基地,對設計方案及主體設備進行深入研發及改進,逐步邁向智能化的創新型公司,目前正著手以信息化管理平臺為入口,建立運行數據系統,智能化為企業量身定做專業的廢氣處理解決方案,制定維保計劃,以高性價比滿足企業的環保達標排放要求,為客戶提供全生命周期的個性化服務。 公司擁有高精尖技術實力的設計研發團隊和經驗豐富的項目團隊兩大支柱,成員主要由北京化工大學、北京工業大學、中國地質大學、江南大學、同濟大學、生態環境研究院等環保相關專業人員組成,核心成員德國專業受訓,優秀的功能設計,在保證質量的前提下為客戶節約成本,強大的一線客戶服務團隊,對所有工程項目問題均具有快速反應和解決能力,是一支高素質、活力與經驗并存的優秀團隊。 公司以“智能化全生命周期廢氣處理解決方案提供商,科技保航”為使命,以“世界環保新時代,締造百億市值新企業”為愿景,力爭為環保事業帶來一股創新之力!
去除效率: CF490%@150slm、NF395%@300slm 設備材質: 內腔PTEE、水箱CPVC 設備尺寸: 800*800*1850 設備能耗: 12kw for CF490%;9kw for NF395% 設備水量: 4slm
尾氣處理設備 產品信息

等離子水洗Local Scrubber設備:去除半導體Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圓工藝制程中使用或產生的PFC溫室氣體和有毒有害氣體,如:CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。

原理

通過直流電源,使工作氣體(氮氣)進入等離子體反應器,在正負電流的作用下,被電離成等離子體,瞬間產生巨大的火焰,產生的高溫火焰將廢氣分解。

優勢

  1. 去除效率高,不需要燃料和熱源,耗能低;
  2. 處理高沸點廢氣,應用范圍廣;
  3. 高溫、反應速度快,
  4. 設備占地面積小、便于安裝;

本裝置的直流電弧等離子體為非轉移型,兩電極區域不參與反應,只產生等離子體,產生的火焰溫度可達3000度以上。

等離子反應器的MTBF大于1年,反應室內腔的材質耐熱和耐腐,具有四個進氣口,裝置具備冷卻區、噴淋區及兩級填料除霧區,對PFC溫室氣體的去除效率>90%。

尾氣處理設備尾氣處理設備

性能參數

去除效率 CF4>90%@150slm、NF3>95%@300slm
MTBF >6months;
MTTR <1.5hr
材質 內腔PTEE、水箱CPVC
等離子弧使用壽命 >1year
尺寸(mm) 800*800*1850
進氣口 NW50*4
耗能 12kw for CF4>90%;9kw for NF3>95%
水量 <4slm

 

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