低溫等離子廢氣凈化器主要采用脈沖高頻高壓等離子體電源和雙介質齒板放電裝置，放電形式產生高濃度離子。等離子體是一種聚集態物質，其所擁有的電子能在毫秒級的時間內，瞬間擊穿空氣和廢氣分子，發生一系列分化裂解反應，產生高濃度、、量的活性自由基和各種電子、離子等，在與機廢氣中的分子碰撞時會發生一系列基元物化反應，并在反應過程中產生多種活性自由基和生態氧，即臭氧分解而產生的原子氧。
低溫等離子廢氣凈化器在氣態污染物治理方面優勢顯著。其基本原理是在電場的加速作用下，產生電子，當電子平均能量超過目標治理物分子化學鍵能時，分子鍵斷裂，達到氣態污染物的目的。
低溫等離子廢氣凈化器的性能特點：
與目前國內常用的異味氣體治理方法相比較，等離子廢氣凈化器具有以下特點：
1、技術 ，工藝簡潔：開機后，即自行運轉，受工況限制非常少，無需專人操作。
2、節能：無機械設備，空氣阻力小，耗電量約為0.0001kw/m3廢氣。
3、設備使用壽命長：本設備由鍍鋅材料，銅材、鉬材、環氧樹脂等材料組成，，采用 材料，電極與廢氣不直接接觸，根本上解決了設備腐蝕問題。
4、結構簡單：只需用電，操作極為簡單，無需派專職人員看守，基本不占用人工費。無機械設備，故障率低，維修容易。
低溫等離子廢氣凈化器可用于煉油廠、橡膠廠、化工廠、制藥廠、污水處理廠、垃圾轉運站等惡臭氣體的脫臭凈化處理。
低溫等離子廢氣凈化器從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
