設備采用*的磁控濺射鍍膜技術，配備直流+射頻磁控濺射系統，用于在PET等柔性薄膜上鍍制功能性薄膜。

一、 系統設計簡介

1. 系統真空指標：

1.1 濺射室極限真空度：≤1.4x10-4Pa(經烘烤除氣后)；

1.2 系統真空檢漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S；

1.3 系統從大氣開始抽氣：濺射室40分鐘可達到6.6x10-4 Pa；

1.4 系統停泵關機12小時后真空度：≤10Pa；

2. 真空室設計：

真空室為D形前開門結構，約為尺寸Ф600mmx400mm，全不銹鋼結構。可外烘烤到100～150℃，選用不銹鋼材料制造，氬弧焊接，表面進行電化學拋光家鈍化處理，接口采用金屬墊圈密封或氟橡膠圈密封；手動前開門結構；

3. 磁控靶系統

3.1 柱狀靶材尺寸：Ф70mm×180mm  2套；

3.2 平面靶尺寸：180mm×75mm    1套；

3.3 提供靶材：不銹鋼測試靶材3塊

3.4 靶在下，向上濺射，分布在一個圓周上，各靶可獨立/順次/共同工作；

3.5 3kw直流電源2臺（數字式電源 ）；

3.6 500w自動調諧射頻電源1臺；

3.7 磁控靶與基片的距離為：70mm。

4. 卷繞機構：

4.1、PET材料卷經：Φ150mm，寬幅：150mm

4.2、卷繞機構使用張力傳感器、伺服電機、離合器、磁流體、減速器等；

4.3、鍍膜水冷轉輪一臺，直徑約為250mm；

4.4、基體材料的復卷裝置配備了全閉環數字式直接張力檢測及伺服系統配合的卷繞控制系統。自動張力控制器通過采自張力傳感器的張力信號實現鍍膜過程中基體材料收、放卷卷繞的恒張力自動控制；鍍膜輥采用伺服電機驅動。

4.5、卷繞和驅動系統與真空室門連體安裝在一個由電機驅動的行走車上，隨門一起開合。基材卷繞系統由放卷裝置、鍍膜主輥、收卷裝置、過渡導輥、張力輥、測速輥等組成，以及安裝這些輥系的前后墻板等部件組成。系統采用伺服電機控制驅動基體材料的收、放卷轉軸和鍍復主輥運轉，來控制基體材料放卷卷繞和收卷卷繞操作。

放卷裝置：包括1套放卷轉軸夾持裝置、伺服電機

鍍膜主輥：1個，包括1套多通路的冷卻主輥，表面拋光后鍍鉻，伺服電機

收卷裝置：包括1套收卷轉軸夾持裝置、伺服電機

收放卷軸：3寸卷芯用氣漲軸2根

卷繞導輥：導向輥經過表面硬化及拋光處理

張力輥：2個，導向輥經過表面硬化及拋光處理

測速輥；1個