iGX 干泵真空系統 愛德華edwards半導體干式真空泵iGX600N 干式泵
iGX 干式真空泵系列為 大修之間零維護現代干泵樹立了新標準；這 使其成為了世界上Z受歡迎的干泵之一，目前已在大多數 的 300mm 工廠中安裝了 20,000 套以上。 iGX 系列包括 MicroTIM 工具 接口和以太網連接，允許通過網頁查看 主要數據，同時包括一套全面的網絡選項， 可確保泵持續運轉。
iGX 泵的峰值速度范圍 很寬，并可以改變以適合各種應用條件，包括從清潔 到中等負載制程。模塊化設計允許用戶對 iGX 干泵 進行配置以適合各個工廠的要求。緊湊的占地面積允許使用多種安裝 選項，包括工具上、近程和遠程操作。
通過使用 iGX 干泵技術， 整個工廠通常可以在設施成本方面實現 40%* 的節省 （與 iL/iH 干泵相比）。
*基 于包含 200 個工具、537 臺泵/70% iGX 泵、30% iH 泵/ iGX 配有恒流水閥的 300mm 美國工廠。
低功耗和零預防性維護，可降低擁有成本
小巧輕便，可使用靈活的 安裝選項
高性能電機和變頻器驅動裝置
待機模式使用環保模式，功耗 更低
高導熱性材料和 優良設計可實現低水流量和高效冷卻 - 那又怎么樣？
精密陶瓷軸承 可確保高負載容量，因而更加可靠
低振動和小于 55 dB(A) 的低噪聲，可以安裝在操作中同附近
PVD
電介質刻蝕
導體刻蝕
金屬刻蝕
植入源
概述
iGX 干式真空泵系列為大修之間零維護樹立了新標準。效率提高的同時降低了運行成本，并在整個壓力范圍內保持連續一致的泵送能力。
iGX 干泵包括以太網連接功能，允許通過網頁查看主要數據，另外還包括一套全面的網絡選項，可確保泵持續運轉。
iGX 泵的峰值速度范圍很寬，并可以改變以適合各種應用條件，包括從清潔到中等負載的各種工藝。模塊化設計允許用戶對 iGX 干泵進行配置以適合各個工廠的要求。超緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠程在內的多種安裝選項。
iGX 干泵包括以太網連接功能，允許通過網頁查看主要數據，另外還包括一套全面的網絡選項，可確保泵持續運轉。
iGX 泵的峰值速度范圍很寬，并可以改變以適合各種應用條件，包括從清潔到中等負載的各種工藝。模塊化設計允許用戶對 iGX 干泵進行配置以適合各個工廠的要求。超緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠程在內的多種安裝選項。
應用
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
氧化物腐蝕
硅腐蝕
金屬腐蝕
iGX600N 干式泵 200-230V 50/60 Hz
A
iGX600N 干式泵 380-460V 50/60 Hz
A
功能和優勢
- 低運行成本
- 與 iL/iH 干泵相比，設施成本Z多可降低 50%
- 無需預防性維護
- 靈活的安裝選項
- 小巧輕便，便于安裝
- 工具上、近程或遠程
- 可以改進工具吞吐量
- 可用的Z快的負載鎖定泵之一
- 全程一致的泵送性能
- 在 50 和 60 Hz 下抽速相同
- 降低了環境噪音
- 僅 55 dB(A)
- 峰值速度范圍寬
- 100、300、600 和 800 m3h-1
技術數據
| 峰值速度 | 620 m3h-1 |
| 365 cfm | |
| 10333 l min-1 | |
| 極限壓力 | 7.00E-04 mbar |
| 5.25E-04 Torr | |
| 0.07 Pa | |
| 700 Torr 排氣壓力下的極限 | |
| 極限 | 1.6 kW |
| AUC（有源設備控制器） | 0.05 kW |
| 水入口* | 2 slm |
| 氮 | 4 或 14 slm |
| 占地面積（不包括排氣裝置） | 0.20 m2 |
| 重量 | 220 kg |
| 進氣口連接 | ISO100 |
| 出口連接 | NW25 |
| 極限噪音 | < 55 dB(A) |
* 需要恒流閥附件。
