低溫等離子廢氣凈化器等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1)電場+電子→高能電子
(2)高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團
(3)活性基團+分子(原子)→生成物+熱
(4)活性基團+活性基團→生成物+熱
在處理過程中，當有機氣體進入冷離子體反應室時，氣體被均勻分配到等離子反應室（PRC）。反應室分成149根六邊形管子，每根管子的有一根冠狀電線，與反應室獨立隔開。通過高壓線對反應室導通可調節高壓，高壓導通到管子里的管狀電線上。由電線至管壁產生放電現象。
低溫等離子廢氣凈化器一旦放電，等離子體電子就與氣體分子相撞擊，產生化學性活性核素，就是通常所說的激進和負荷載體。此外，還具有微型靜電沉淀器的功能，該裝置可以除塵。
同時注入環境或者二*氣體來優化反應室的濕度和溫度登記，與此同時加入離子來改善反應室內的反應。這種冷離子體處理方法使有機氣體在低溫下進行“氧化”。
在處理過程中，當有機氣體進入冷離子體反應室時，氣體被均勻分配到等離子反應室（PRC）。反應室分成149根六邊形管子，每根管子的有一根冠狀電線，與反應室獨立隔開。通過高壓線對反應室導通可調節高壓，高壓導通到管子里的管狀電線上。由電線至管壁產生放電現象。
低溫等離子廢氣凈化器一旦放電，等離子體電子就與氣體分子相撞擊，產生化學性活性核素，就是通常所說的激進和負荷載體。此外，還具有微型靜電沉淀器的功能，該裝置可以除塵。
同時注入環境或者二*氣體來優化反應室的濕度和溫度登記，與此同時加入離子來改善反應室內的反應。這種冷離子體處理方法使有機氣體在低溫下進行“氧化”。
uv光氧等離子一體機工作原理如下：
1、本產品利用特制的高能光束照射惡臭氣體，裂解惡臭氣體如：氨、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等低溫等離子廢氣凈化器。
2、利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),臭氧對有機物具有*強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有的清除效果。
3、惡臭氣體利用排風設備輸入到本凈化設備后，凈化設備運用高能C波光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質其降解轉化成低分子化合物、水分子和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。
4、利用高能UV光束裂解惡臭氣體中細菌的分子鏈，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，達到脫臭及殺滅細菌的目的。
5、采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質時，等離子體中的高能離子起決定性的作用。流星雨狀的高能離子與介質內分子（原理）發生非彈性碰撞，將能量轉化成基態分子（原子）的內能，發生激發、離解、電離等一系列過程使污染介質處于活化狀態。低溫等離子廢氣凈化器污染介質在等離子體的作用下，產生活性自由基，活化后的污染物分子經過等離子體定向鏈化學反應后被脫除。當離子平均能量超過污染介質中化學鍵結合能時，分子鏈斷裂，污染介質分解，并在等離子發生器吸附場的作用下被收集。在低溫等離子體中，可能發生各類型的化學反應，這主要取決于等離子的平均能量、離子密度、氣體溫度、污染物介質內分子濃度及共存的介質成分，對氣態有機污染物的降解機理。
6、有足夠的能量來產生自由基，引發一系列復雜的物理、化學反應。由低溫等離子體引起的氣體有機物化學反應是在氣相中進行的電離、離解、激發、原子.分子間的相互結合及加成反應。這個能量足以使大多數氣態有機物中的化學鍵發生斷裂，從而使其降解。
低溫等離子廢氣凈化器在放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過非彈性碰撞將能量轉化為污染物分子的內能或動能，這些獲得能量的分子被激發或發生電離形成活性基團，同時空氣中的氧氣和水分在高能電子的作用下也可產生大量的新生態氫、活性氧和羥基氧等活性基團，這些活性基團相互碰撞后便引發了一系列復雜的物理、化學反應。從等離子體的活性基團組成可以看出，等離子體內部富含*高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，*終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。
低溫等離子廢氣凈化器電子*先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
