手動臺階儀JS10A，擁有高精度、高分解能，搭配一體花崗巖結構，提供穩定可靠的重復性測量。JS10A提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像，可無畸變的觀察樣品區，方便定位特征區域，同時探針掃描時可實時觀察掃描區域。

應用領域

產品組成

產品特點

1、雙攝像頭設計，既可清晰尤變形的現蔡樣品，又可實時監測探針掃描狀態。

2、花崗巖龍門架結構，提供高剛性的支撐，保證測量穩定性。

3、光柵尺閉環反饋樣品臺，重復定位精度優于5um 。

4、高精度微力傳感器與微動掃描器，提供高的測量精度和重復性。

5、采用金剛石探頭，提供不同規格。

國產臺階儀

半自動國產臺階儀JS100A 系列，創，打破了國外壟斷的局面，是半導體國產化進程中

的一環。

1 、納米級測試精度，標準偏差 3nm 以內。

2 、可測樣品臺階厚度范圍 0一 6mm ；超出可定制。

3 、儀器結構模塊化設計．安裝維護簡易快捷。

4 、操作流程直觀，軟件緊密貼合國內客戶需求，上手更快。

5 、國內研發，售后 24 小時響應。

突破三大核心技術

1、大行程超平面掃描技術

（行程 50mm ，平坦度優于 20nm )

2、大帶寬大行程納米微動臺技術

（行程 100um ，分辨率 0 . Inm ，帶寬 10KHz )

3、大行程壓電陶瓷驅動快速進針技術

（行程 20mm ，單步步進小于 1 00nm )

配套軟件介紹

應用案例

以上就是為您介紹的國產手動臺階儀產品，想要了解臺階儀更多內容請咨詢

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