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半自動方片勻膠機(jī)

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公司名稱?陜西愛姆加電子設(shè)備有限公司
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更新時間2023/5/15 11:35:43
訪問次數(shù)554

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愛姆加電子設(shè)備有限公司專業(yè)從事半導(dǎo)體工藝設(shè)備的設(shè)計、生產(chǎn)。產(chǎn)品系列有：勻膠機(jī)、顯影機(jī)、半自動勻膠顯影機(jī) 、全自動勻膠顯影機(jī)、全自動顯影機(jī)、半導(dǎo)體噴膠機(jī)、槽式（Wet Bench）及單片(Single Wafer)蝕刻_剝離_清洗設(shè)備、清洗甩干機(jī)、熱板烘烤（Hot Plate）、自動涂膠顯影機(jī)｜自動砂輪劃片切割等設(shè)備；以及開發(fā)研制、升級換代、維修服務(wù)。公司擁有一批多年從事半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械、電氣、光學(xué)、計算機(jī)、以及從事半導(dǎo)體工藝線生產(chǎn)的專業(yè)的高中級工程技術(shù)人員，擁用CAD計算機(jī)網(wǎng)絡(luò)開發(fā)系統(tǒng)-FAB的MES等管理軟件，各類檢測儀器等*的設(shè)計手段. 產(chǎn)品適應(yīng)不同工藝等級的客戶要求，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能、MicroLED、MINILED\MEMS、PUMPING工藝、平板顯示及Photo-MASK等產(chǎn)品的清洗、濕法刻蝕、薄膜旋涂、噴涂、顯影、傳統(tǒng)后道封裝工藝。公司提供二手機(jī)臺TEL/DNS、MARK-V\VZ、MARK7/8、ACT8等廠商設(shè)備的備品、備件及應(yīng)用材料的CMP設(shè)備維修翻業(yè)務(wù)。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

半自動勻膠機(jī)，用于小方形基片及尺寸為□50.8×50.8mm晶圓片,可兼容6英寸晶圓；厚度都在0.15-1.5mm基片完成自動滴膠、甩膠、勻膠工藝。

半自動方片勻膠機(jī) 產(chǎn)品信息

設(shè)備主要由主軸單元、自動供給系統(tǒng)（光刻膠）、排風(fēng)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等組成，采用框架結(jié)構(gòu)，外表為優(yōu)質(zhì)不銹鋼鏡面護(hù)板，無發(fā)塵量且不吸浮塵顆粒，工作方式為手動上下片，自動完成工藝。
主軸電機(jī)采用進(jìn)口交流無刷伺服電機(jī)（德國路斯特），保證旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速、加速度控制精度高，重復(fù)性、穩(wěn)定性好。多件套組成的防濺、廢液收集、氣流控制，使涂膠工藝條件達(dá)到，以形成均勻性高的膠膜，滿足光刻工藝要求。