| 型號 | ZT0160W3 | ZT0260W3 | ZT0560W3 | ZT1060W3 | ||
| 標稱內容積（m3） | 0.13 | 0.27 | 0.57 | 0.97 | ||
| 溫 控 系 統 性 能 | 溫度范圍 | -60～+100℃ | ||||
| 溫度波動度 | ±0.5℃(按GB/T5170.2-2008規則表示) | |||||
| 溫度偏差 | ≤±1.5℃ | |||||
| 溫度均勻度 | ≤2.0℃ | |||||
| 升降溫速率 | ≥3℃/min(空載，-40℃～+80℃,全程平均，入風區控制點測量） | |||||
| 轉 軸 系 統 參 數 | 臺面直徑（mm） | φ400 | φ550 | φ800 | φ1000 | |
| 負載重量（kg） | 50 | 50 | 100 | 100 | ||
| 臺面端面跳動(mm) | 0.01 | 0.02 | 0.04 | 0.05 | ||
| 傾角回轉誤差 | ≤±3″ | |||||
| 軸線垂直度誤差 | ≤±3″ | |||||
| 位置精度誤差 | ≤±3″ | |||||
| 速率范圍 | 主 軸：±0.001°/s ～±600°/s 俯仰軸：±0.001°/s ～±300°/s | |||||
| 速率精度及 速率平穩性 | ≤±5×10-5 （360°平均） | |||||
| 加速度 | 內環：200°/s2 外環：100°/s2 | |||||
| 滑環 | 80環 | |||||
| 內部尺寸 (mm) | W | 500 | 650 | 900 | 1100 | |
| H | 500 | 650 | 700 | 800 | ||
| D | 500 | 650 | 900 | 1100 | ||
| 額定功能（KW） | 13 | 15 | 18 | 25 | ||
